ТРАВИТЕЛЬ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/306 

I

Изобретение относится к методу выявления дислокационных ямок травления, широко применяемого при исследовании монокристаллов полупроводников, а также при контроле параметров готовой продукции. Дислокации являются одними из наиболее важных структурных дефектов в монокристаллах полупроводников, используемых при производстве полупроводниковых приборов.

Известно несколько травителей, выявляющих дислокации в монокристаллах кремния, из которых наиболее распространенными являются травитель Дэша и хромовый травитель. В указанных травителях дислокационные ямки травления отчетливо выявляются на плоскостях типа {111}, {110} и {112}. Выявление дислокационных ямок травления на плоскости типа {100} представляет известные трудности, связанные с окислением поверхности и выявлением фигур травления недислокационного характера.

Настоящее изобретение представляет собой травитель для выявления дислокаций в образцах монокристаллического кремния, ориентированных по плоскости {100}, который состоит из 7-9 частей плавиковой кислоты, 1 части раствора хромового ангидрида в воде и 2 частей воды.

Предлагаемый травитель для выявления дислокаций на плоскости типа {100} опробован на серийных образцах кремния, легированных Р, В, As, Sb, Al в широком диапазоне концентраций легирующей примеси. Пример.

Образцы, ориентированные по плоскости {100}, шлифуются порошком М-14 и химически полируются в смеси HF : :2. После тщательной промывки водой производится травление образца в смеси:

Плавиковая кислота - 7-9 частей (объемн.).

Раствор хромового ангидрида в воде - 1 часть (объемн.). Вода - 2 части (объемн.).

При травлении используется раствор хромового ангидрида концентрацией 250- 300 г/л и плавиковая кислота концентрацией 40%. В случае использования плавиковой кислоты другой концентрации необходим соответствующий пересчет соотношения в травящей

системе. Время травления составляет 15-

30 минут, а расход смеси больше 1,3 мл на 1 г

кремния.

Дислокационные ямки травления на плоскости {100} представляют собой квадратные или вытянутые формы травления.

Предмет изобретения

Травитель для выявления дислокаций в монокристаллах кремния, содержащий плави34

ковую кислоту, хромовый ангидрид и воду,Плавиковая кислота (40%)-7-9 частей.

отличающийся тем, что, с целью обеспеченияРаствор хромового ангидрида в воде (250-

возможности выявления дислокаций на пло- 300 г/л) - 1 часть, скости {100}, компоненты взяты в следующемВода - 2 части,

соотношении по объему:5

369651