(54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ АНТИМОНИДА ИНДИЯ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Реактив для химического травления | 1982 |
|
SU1089465A1 |
| Способ обработки поверхности пластин антимонида индия (100) | 2023 |
|
RU2818690C1 |
| Травитель для выявления дислокаций в кремнии на плоскости (100) | 1980 |
|
SU947233A1 |
| Травитель для химического полирования антимонидов индия и галлия | 1979 |
|
SU784635A1 |
| Состав травителя для вскрытия окон в гибридном диэлектрическом покрытии | 2023 |
|
RU2811378C1 |
| ТРАВИТЕЛЬ | 1973 |
|
SU369651A1 |
| Способ выявления дислокаций различного типа в структурах теллурида кадмия-ртути с кристаллографической ориентацией (310) | 2018 |
|
RU2676626C1 |
| ТРАВИТЕЛЬ | 2003 |
|
RU2235806C1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРУПНОГАБАРИТНЫХ МАЛОДИСЛОКАЦИОННЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ АНТИМОНИДА ГАЛЛИЯ | 2013 |
|
RU2534106C1 |
| Травитель для прецизионного химического полирования монокристаллов антимонида галия и твердых растворов на его основе | 1983 |
|
SU1135382A1 |
1
Изобретение относится к травителям йГ может быть использовано в технологии полупроводниковых материалов.
Известен травитель, выявляющий дислокации в монокристаллах антимонида индия, в состав которого входят азотная, плавиковая и уксусная кислоты.
Однако известный травитель выявляет дислокационные ямки травления только на одной или двух кристаллографических плоскостях.
Известен также травитель, состоящий из соляной кислоты и пергидро-пя.
Однако этот травитель не может быть использован для травления антимонида индия.
Целью изобретения является выявление дислокации по плоскостям f21l|, fill {110}, (lOO).
Для этого травитель дополнительно содержит молочную кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л:
Соляная кислотаЗО - 25О
Пергидроль30 - 150
I Молочная кислота10О - 40О
i Пример. Осуществляли травление подготовленного нолированного образца ан-, тимонида индия, ориентированного по плоскости (lllj и 211 j в травителе следугощего состава: 1О5 г/л соляной кислоты, 55 г/л пергидроля и 25О г/л молочной кислоты.
Травление длилось 15 мин. Затем образцы промывали водой и сушили. Дислокации
выявлялись в виде конусообразных ямок с вершиной.
Формула изобретения
Травитель для антимонида индия, содержащий соляную кислоту и пергидроль, отличающийся тем, что, с целью выявления дислокаций по плоскостям {21lj, (ill) , {но} , |lOO}, травитель допол1штельно содержит молочную кислоту при следуюш.ем соотношении компонентов, г/л: Ооляная кислота30 - 25О
Пергидроль30 - 150
Молочная кислота1ОО - 4ОО
4
п г
