УСТРОЙСТВО для подгонки ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПРЕЦИЗИОННЫХ РЕЗИСТОРОВ Советский патент 1973 года по МПК H01C17/232 

I

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и предназначено для использования при изготовлении тонкопленочных прецизионных резисторов.

Известно использование для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов лазера, снимающего часть резистивной пленки с резистора.

Применение лазера для подгонки тонкопленочных резисторов имеет следующие недостатки: дискретность изменения сопротивления, сложность в управлении процессом подгонки, низкую точность подгонки, не превышающую 0,1%, больщие габариты.

Целью изобретения является упрощение процесса подгонки резисторов и повышение точности подгонки.

Указанная цель достигается тем, что в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов применен микротвердомер, например, типа ПМТ-3.

Микротвердомер представляет собой устройство, состоящее из микроскопа с предметным столиком и механизма нагружения алмазного резца.

Предметный столик микротвердомера позволяет закрепить на нем с помощью его прижимов подгоняемый резистор или резистивную схему.

Микроскоп микротвердомера позволяет с помощью микрометрических винтов предметного столика совместить центр окуляра микротвердомера, центр соприкосновения алмазной иглы и подгоночный участок резистора.

Перемещением предметного столика с помощью микрометрических винтов можно произвести скрабирование подгоночной части резистора алмазной иглой, обспечивающее точность подгонки не ниже ±0,01%.

Предмет и з о б р е т е « и я

Применение микротвердомера, например, типа ПМТ-3, в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов.