УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/50 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой размещен испаритель, откачную систему, пульт управления.

Однако в известном устройстве возможно попадание паров металла через щели между деталями на обратную сторону поверхности, подлежащей обработке; это ухудшает качество покрытия.

Для повышения качества покрытий внутри камеры на приводном валу коаксиально установлены барабаны с независимыми приводами, причем внутренний барабан выполнен с поворотными держателями подложек, связанными через привод с пультом управления.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез.

Устройство состоит из камеры 1, внутри которой размещены испаритель 2 и коаксиально установленные на приводном валу 3 барабаны 4 и 5 с независимыми приводами, причем внутренний барабан 5 выполнен с поворотными держателями подложек 6, связанными через привод 7 с пультом управления (на чертеже не показан) и откачной системы (на чертеже не показана).

Держатели подложек 8 и 6 с подготовленными для напыления деталями закрепляют в барабанах 4 и 5, устанавливают испаритель 2, закрывают крышку камеры 1 и производят откачку. Во время откачки барабаны 4 и 5 с держателями подложек 8 и 6 приводят во вращение и производится очистка поверхности деталей при помощи тлеющего разряда, создаваемого электродом 9. После достижения рабочего разрежения в камере / внутренний барабан 5 устанавливают в положение, указанное на фиг. 2. Держатель подложек 6 внутреннего барабана при этом находится над испарителем 2 в открытом положении,

включается испаритель 2 и на детали, установленные на вращающемся наружном барабане 4, наносится покрытие. По истечении времени, необходимого для нанесения покрытия на детали, наружный барабан 4 останавливают. Держатель подложек 6 закрывают и приводят во вращение внутренний барабан 5. Отключение наружного барабана 4 от приводного вала 3 и подключение внутреннего барабана 5 производят при помощи муфты

сцепления 10. После того, как будет нанесено покрытие на детали, установленные на внутреннем барабане 5, отключают испаритель 2, в камеру 1 впускают воздух, открывают крышку камеры и производят выгрузку

металлизированных деталей.

Пфедмет из Обретбнчя

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, седержащее камеру, внутри которой размещен испаритель, откачную систему и 5

пульт управления, отличающееся тем, что, с

цедью, повыщедия качества нокрытий, внутри камеры на прлаодном в,алу коакоиально установлены барабаны с независимыми нриводами, причем внутренний барабан выполнен с

ными через привод с пультом управления. поворотными держателями подложек, связан9и.2