УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕЗКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ Советский патент 1973 года по МПК B28D5/02 

1

Изобретение может быть использовано на предприятиях, занимающихся производством полупроводниковых структур или приборов и схем на их основе.

Известно устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, поворотный кронштейн со шкалой и держатель слитка.

Текстолитовая оправка предназначена для приклейки слитка и крепится в неподвижном гнезде одного из кронштейнов.

Однако такое устройство не может широко использоваться в промышленном производстве интегральных схем на структурах со «скрытым слоем, ввиду отсутствия фиксированного поворота слитка на 90°С, что не позволяет производить резку слитка по двум взаимноперпендикулярным направлениям без дополнительной операции - переклейки слитка. Кроме того, у этого устройства при ориентированной резке за счет введения дополнительной операции (переклейка слитка) снижается производительность. А в связи с большим числом контрольных резов при введении необходимых поправок для получения заданной точности ориентации происходит большой расход дорогостоящего материала.

Цель изобретения - обеспечить резку слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокращении времени обработки и уменьщить расход монокристаллов.

Это достигается тем, что держатель слитка смонтирован с возможностью поворота его на 90° и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси. Сущность изобретения поясняется чертежом.

Устройство имеет основание 1, поворотный кронштейн 2, держатель 3 слитка, стопорные винты 4, фиксатор 5 и ось 6. Поворотный кронштейн и основание имеют

шкалу с конусом для отсчета углов поворота пилы в диапазоне ±10°С точностью ±10 мин. Поворот и закрепление кронштейна в требуемом положении производится стопорными винтами 4.

Держатель 3 слитка А состоит из спутника и поворотного основания.; Спутник изготовлен из текстолита и предназначен для наклейки слитка. Он закрепляется на поворотном основании винтами. Поворотное основание имеет

ось для подвижного соединения с кронштейном 2 и вырезы под фиксатор 5, обеспечивающие поворот слитка на 90° с точностью ±10 мин вокруг оси У-Y. Закрепление поворотного основания в фиксированном положеНИИ производится гайкой.