СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ХРОМА Советский патент 1974 года по МПК H05K3/06 C23F1/26 

Изобретение относится к технологии нзготовления микросхем QI фотошаблонов метод ф о то л и то гр а ф и и. Известеи способ травлеа-шя пленок хромав растворе Соляион кислоты .с добавкой хлористых -солей. Предлагаемый снособ отличается от известного введением в ра.створ ,в качестве хлорйстой соли двухлорлетото олова в количестве 30-100 г/л 1 проведением процесса при 60 110°С. Это позволяет интенсифицировать ирощесс и ловысить качество травления. Пример 1. Пленку хролш толщи-ной 300 А, иаие.сенпую на керамическую ЛОДложку с 8 классом чистоты вакуумтермическим наиылеилем, подвергают в лрюцессе фотоллтографли на стадии дубления фоторезиста нагреванию ла воздухе лри 250°С в течение 0,5 час. Травление хрома нро-изводят в нагретом до 75С 20%-лом растворе соляной кислоты, содержащем 60 г/л двухлористого олова. Время травления 15 сек. После растворе.ния Хрсма ла иезапи1Л1,еННЫх фоторезистом участках подложку промывают водой и высугнивают. В результате видимых следов иестравлеклого хрома на подложке лод микроскопом .не обнаружено. П р и мер 2. Па керамическую подложку 7 класса члстоты лалоеят в вакууме двухслойлое локрыт;1е лз хрома (толщила 250 А) и меди (толщина 0,6 мкм). После фото.титографии производилось гальваническое нараидлзаиие меди до толщины 60 мкм. Травление меди л а толщину 0,6 лгям/ проводилось 25%«ой азотиой кислотой, а затем лромытую водой подложку поместили в нагретый до 90°С раствор соляной кислоты, содержаnuni 45 г/л двухлорлсгото олова. Время травления хрома 10 сек. При о бследовании иод микроскопом следов нестравленпого хрома и растравливания медного слоя не обнаружено. Предмет изобретения Слособ тра|Влелия иленок хрома в растворе соляной К 1слоты с добавкой хлорлстых солей, отличающийся тем, что, с целью лнтенсифлкации процесса л повыщения качества травления, в качестве хлористой соли в раство.р вводят двухлористое олово .в кoлн ecтвe 30-100 г/л и ироцес.с лроводят при 60-110°С,