СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ ОСНОВАНИЙ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Советский патент 1974 года по МПК H01L23/02 H01L23/06 

1

Изобретение относится к радиоэлектронной технике.

Известен способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем с вакуумплотными проходными выводами с использованием металлизации отверстий и последующей их пайки.

Предлагаемый способ отличается тем, что заготовки керамических корпусов дисковой формы подвергают , наносят по торцу металлизированные выводы, собирают с необожл енными керамическими кольцами и подвергают совместному обжигу в режиме необожженной керамики. Это позволяет создать вакуумплотные выводы в основании.

На фиг. 1 изображены обожженный диск с металлизацией и необожженное кольцо; на фиг. 2 представлена последовательность технологического процесса сборки, и нанесения металлизации на торцовую поверхность.

Данный способ предусматривает как применение керамики одного состава, так и сочетание различных керамических материалов для получения -монолитной структуры с анизотропными свойствами.

В технологический процесс изготовления основания корпуса входят:

1) диска.

2) Сборка (необожженное кольцо собирают с обожженным диском, на боковую поверхность которого заранее наносят металлизированные выводы).

3) Совместный обжиг в необожл енного кольца. Температура кольца должна быть меньше температуры обжига диска или соответствовать ей. Внутренний диаметр кольца выбирают так, чтобы получить необходимый натяг (0,1-0,3 мм) после обжига.

4) Металлизация по поверхности и вжигание металлизированных слоев наружных частей основания корпуса в предусмотренных

участках по известной толстопленочной или тонкопленочной технологии.

Предмет изобретения

Способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем, основанный на и металлизации керамических заготовок, отличающийся тем, что, с целью создания вакуумплотных выводов в основаНИИ, предварительно обожженную и металлизированную по торцу керамическую заготовку дисковой формы собирают с необожженным керамическим кольцом и собранную заготовку повторно облчигают в необожл енной керамики.

Фиг /

Фиг. 2