ЗОНД ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Советский патент 1974 года по МПК H05K7/12 

1

Предлагаемый зонд для измерения параметров интегральных схем может быть использован в производстве м:икросхем.

В настоящее время используются зонды с вертикальным расположением электродов, в верхней части за.крепленных посредством сферического шарнира на основании зонда, или различные искатели, содержащие несколько зондов с вертикальным расположением зондов.

Известные конструкции зондов требуют предварительной регулировки соответственно для каждой цепи или обладают недостаточной точностью установки электрода на контактную площадку микросхемы из-за невозможности вести контроль за процессом установки электродов на контактные площадки через микроскоп, так как зоид по габаритам не помещается под окуляром микроскопа.

Целью изобретения является повыщение точности установки зонда на контактную площадку микросхемы.

Это достигается тем, что в предлагаемом зонде втулка закреплена на стержне, который через кронщтейн подвижно соадинеп с рычагом, закрепленным на оси, установленной на основании зондовой головки.

Предлагаемая конструкция зонда дает возможность применять микроскоп для контроля за установкой электрода и создает удобство в работе.

На чертеже схематически изображен зонд для измерения параметров интегральных схем.

Зонд включает ось 1, на которой подвижно закреплен рычаг 2, на рычаге 2 щарнирно установлен кронщтейн 3 с подвижно размещенным на нем стержнем 4. На одном конце стержня 4 имеется ручка 5, а на другом -

втулка 6 из изоляционного материала с электродом 7. Пружина 8 обеспечивает давление электрода на контактную площадку.

Нал-сатием на ручку 5 сверху вниз поднимают электрод 7 над микросхемой, затем,

манипулируя ручкой 5, выставляют электрод 7 над контактной площадкой микросхемы и опускают его. Перемещение в горизонтальной плоскости обеспечивает подвижное соединение рычага 2 с осью / и кронщтейном 3, а перемещение в вертикальной плоскости производится щарнирным соединением стержня 4 с кронщтейном 3. Самопроизвольное опускание электрода 7 на контактную площадку осуществляется пруж1иной 8.

Предмет изобретения

Зонд для измерения параметров интегральных схем, содержащий основание и рас30 положе ;11ый во втулке подвижный электрод,

отличающийся тем, что, с целью повышения точности установки зонда на контактную площадку микросхемы, на основании установлена

ось с закрепленным на ней рычагом, а втулка размещена на стержне, соединенном подвижно с рычагом через кронштейн.