СОСТАВ ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ Советский патент 1974 года по МПК B24D3/04 

1

Изобретение относится к «рОИзводству абразииного инструмента.

Известен состав, используемый для полирования и включающий алмазный порошок, канифоль, 1ВОСК, шеллак.

В случае обработки полупроводниковых материалов такой состав не обеспечивает высокую производительность и чистоту полирования.

Предлагаемый состав отличается от известного тем, что в него введен Д|равес.ный пек, при этом инпредиенты, входящие в состав, взяты в следующем соотношении, вес. %. Абразявлый порошок9,0-83,0

Канифоль3,4-73,0

Древесный ,7-72,0

Воск0,5- 9,0

Предлагаемый соста-в повышает производительность и чистоту полирования.

Состав приготавливают следующим образоль

Смешивают в необходимой пропорцией древесный пек кан:ифоль и воск, .полученную

месь расплавляют и тш;ательно перемешиват. Охлаждеппую смесь перетирают в пороп:ок до размера частиц не более 100-200 мк. Полученный таким образом порошок смешивают с абразивными зернами. Затем смесь подогревают до те1мпе.ратуры плавления неабразивных составляющих с последующим охлаждеииеМ и измельчением.

Предмет изобретения

Состав для полирования преимущественно полупроводниковых материалов, включающий алмазный порошок, канифоль, и воск, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения производительности и чистоты полирова 1ия, в состав введен древесный пек и компоненты взяты в следующем соотношении, вес. %:

Абразивный порошок9,0-83,0

Канифоль3,4-73,0

Древесный пек1,7-72,0

Воск0,5- 9,0