(54) РАСТВОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СИЛИКАТНЫХ ПОКРЫТИЙ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ ОКСИДНЫХ СИСТЕМ | 2016 |
|
RU2632835C1 |
| Способ дезактивации катализатора типа циглера-натта | 1973 |
|
SU430582A1 |
| Состав и способ приготовления катализатора - ловушки кремния | 2019 |
|
RU2742031C1 |
| Способ получения полимерного покрытия | 1989 |
|
SU1684355A1 |
| Состав для зубных вкладок | 1982 |
|
SU1428177A3 |
| КАТАЛИЗАТОР ДЛЯ ГИДРИРОВАНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХСОЕДИНЕНИЙ | 1970 |
|
SU276912A1 |
| Способ получения анетола | 1975 |
|
SU560527A3 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПЛЕКСНОГО МЕТАЛЛОФОСФАТНОГО ПРОДУКТА (ВАРИАНТЫ) | 2014 |
|
RU2579378C2 |
| Катализатор для окисления органических веществ | 1974 |
|
SU691059A1 |
| Способ получения 7-феноксиацетамидо-3метилцеф-3-ем-4-карбоновой ксилоты | 1972 |
|
SU626704A3 |
1
Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов.
Известно, что растворы, содержащие смесь кремнийорганического соединения, органического растворителя, воды и азотнокислой соли редкоземельных элементов или нитратов алюминия, скандия, иттрия, лантана и др., не позволяют создавать силикатные покрытия при температуре ниже 500°С, что приводит к ухудшению параметров полупроводниковь1Х приборов.
Дель изобретения - разработка раствора, который позволит получать качественные силикатные покрытия при более низкой температуре, например 300-500°С.
Сущность изобретения состоит в том, что для получения силикатных покрытий используется смесь кремняйорганического эфира, водного раствора одной из фосфорных кислот и органического растворителя. В пленкообразующий раствор целесообразно ввести добавку азотнокислого алюминия или азотнокислого галлия.
Пример. Силикатную пленку, содержащую 2-35% РаОб и 65-98% SiOz, получают из раствора, содерл ащего на 1 вес. ч. Si02, (содержится ъ тетраэтоксисилане) 0,2-0,5
вес. ч. PoOs (содержится в ортофосфорной кислоте), 7,5-15 вес. ч. простых спиртов, 1,5-2,0 вес. ч. бидистиллированной воды.
Для получения силикатных покрытий раствор наносят центробежным разливом на поверхность, например, транзисторной структуры любой сложной конфигурации. Затем проводят термическую деструкцию при 300-- 500°С.
Для улучшения диэлектрических свойств силикатное покрытие целесообразно создать из нескольких последовательно нанесенных слоез.
Предмет изобретения
Раствор для получения силикатных покрытий методом термической деструкции, содержащий кремнеэтиловый эфир ортокремниевой кислоты, кислый катализатор и добавку азотнокислой соли металла HI группы периодической системы, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры процесса термической деструкции, в качестве кислого катализатора использована одна из фосфорных кислот, например ортофосфорная.
