Способ определения величины потока разряженного газа Советский патент 1974 года по МПК G01F1/00 G01L27/00 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению потока разреженного газа. Наиболее широко измерение потока разреженного газа производится с помощью калиброванной диафрагмы и двух манометрических преобразователей, установленных по ее сторонам. Перепад давления на диафрагме Ар умноженный на проводимость диафрагмы F или деленный на сопротивление диафрагмы течению потока W, характеризует его величину. Q IF Данный способ абсолютен, величина потока зависит только от проводимости диафрагмы f и разности давлений Др на ней и не зависит от параметров системы. Однако измерение малых потоков разреженного газа по этому методу требует диафрагм малой проводимости, с тем чтобы разность давления была существенно выше флуктуации отсчетов каждым из манометров. Это резко снижает эффективную быстроту откачки системы. Цель изобретения - обеспечить высокую газовую проводимость. Это достигается тем, что поток газа в трубопроводе попеременно частично перекрываЮт заслонкой то с одной, то с другой стороны манометрического преобразователя, установленного в трубопроводе, измеряют перепад давления на сопротивлении потоку газа, образуемом зазором между заслонкой и стенкой трубопровода, и по формуле определяют величину газового потока, где Ар - перепад давления на сопротивлении; W - сопротивление зазора. На чертеже показана принципиальная схема реализации предлагаемого способа определения величины потока разреженного газа. В канале-трубопроводе 1, по которому проходит поток газа Q, устанавливается манометрический преобразователь 2 п заслонка 3 с приводом, которая периодически затрудняет прохождение потока газа в канале то с одной стороны манометрического преобразователя 2, то с другой. Таким образом, манометрический преобразователь 2 оказывается подсоединенным то с одной стороны заслонки 3, то с другой. Зазор между заслонкой 3 и корпусом трубопровода 1 обусловливает величину эквивалентного сопротивления течению газа W. Разность -давлений Afi, отсчитанная манометрическим преобразователем 1, деленная на сопротивление течению потока газа W или умноженная на газовую проводимость в зазоре между стенкой трубопровода 1 и заслонкой 3, определяет величину потока газа Q; Q ,(2) где k - коэффициент, учитывающий соотношение времен, когда заслонка 3 перекрывает проход газа и находится в промежуточном состоянии по пути из одного крайнего состояния в другое. Для каждой конструкции привода заслонки 3 величина k постоянна. При реализации предлагаемого способа необходимо, чтобы время, в течение которого трубопровод перекрыт заслонкой, было больше постоянной времени выпуска газа из полости манометра или входа газа в нее. Постоянная времени заполнения газом полости манометра имеет величину порядка нескольких миллисекунд. Перекидывание заслонки с частотой в несколько герц обеспечивает определение величины потока по данному способу. Предмет изобретения Способ определения величины потока разреженного газа, отличающийся тем, что, с целью обеспечения высокой газовой проводимости, поток газа в трубопроводе попеременно частично перекрывают заслонкой то с одной, то с другой стороны манометрического преобразователя, установленного в трубопроводе, измеряют перепад давления на сопротивлении потоку газа, образуемом зазором между заслонкой и стенкой трубопровода, и по формуле Q - - определяют величину газового потока, где Ар - перепад давления на сопротивлении; W - сопротивление зазора.