Стекло для спаивания с кремнием Советский патент 1974 года по МПК C03C3/04 

I

Изобретение относится к составам стекол для спаивания с кремнием и может использоваться для герметизации полупроводниковых приборов и в качестве стекла специального назначения для радиоэлектроники.

Известно стекло для спаивания с кремнием, включающее SiOs, AljOa, MgO.

Цель изобретения - повышение температуры размягчения и обеспечение коэффициента термического расширения близкого к коэффициенту термического расширения монокристаллического кремния.

Достигается это тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующем количестве, мол.%:

SiOa60-85

АЬОз5-25

MgO5-20.

Пример. Стекло содержит, мол.%: SiOg 75; 15; MgO 10. Технология изготовления стекла обычная.

Стекло обладает следующими физико-химическими свойствами.

Температура варки, °С1600

Температура выработки, °С1350-1400 Кристаллизационная способность, °С:

верхний предел кристаллизации1300нижний предел кристаллизации1150Температура размягчения, С940 Температура деформации

без нагрузки, °С1100

Коэффициент теплового

расширения, а-10 град-28,4

Термостойкость, °С290

Плотность, ,47

Микротвердость, кг/мм 585

Модуль упругости, кг/мм 7800

Удельное электрическое

сопротивление при 200°С, ом-см10

12

Тангенс угла диэлектрических потерь при 20°С

и частоте 10 гц20-10

Диэлектрическая проницаемость при 20°С и частоте 10 ГЦ5,3 Химическая устойчивость (потери веса в %) по отношению к

НгО0,035

1 н. НС10,025

I н. НОз0,055

1 н. NaOH0,740

441245

. , . , . : . . 4 ;.

Предмет изобретенияциенту термического расширения монокриСтекло для спаивания с кремнием, вклю-вые компоненты в следующем количестве,

чающее SiO2, А12Оз, MgO, отличающеесямол.%:

тем, что, с целью повыщения температуры5 SiO2 60-85

размягчения и обеспечения коэффициента тер-АЬОз 5-25

мического расщирения близкого к коэффи-MgO 5-20. сталлического кремния, оно содержит указаи