Способ приготовления газовой смеси для получения диэлектрических слоев Советский патент 1974 года по МПК B01J17/32 

1

Изобретение касается приготовления и подачи рабочей газовой смеси в установках для пиролитического получения различных диэлектрических слоев, в частности для пнролитического осаждения слоев нитрида кре.мния из различных с лесей моносилана и алилиака при низком вакууме.

Известен способ приготовления газовой смеси для пиролитического получения слоев нитрида кремния в потоке газов силана и аммиака, который заключается в независимом отборе компонентов с помощью дозирующих кранов и установления необходимого соотношения их в смеси с помощью ротаметров. При этом исходные продукты находятся в баллонах при значительных давлениях PI и PZ- Подача соответствующих количеств для обеснечения нужного состава смеси производится дозирующими кранами, а расход газов контролируется соответствующими измерительными ротаметрами. Пиролиз смеси ведут при давлении, близком к атмосферному. Регулированием соотношения потоков по ротаметрам создают необходимое соотношение компонентов в смеси. Обычно это достаточно большие потоки до 2000 . При указанном перепаде давлений типовая газовая аппаратура позволяет достаточно увереп ю контролировать и осуществлять подачу необходимой смеси в зону реакции. Однако поскольку

данный спосоо связан со значительным расходом взрывоопасных и ядовитых компонентов, ои не является экономичным и не исключает возможности взрыва, что затрудняет его широкое применение в качестве технологического процесса Б пол);проводннковом производстве для папесеппя нптрпдпых слоев. При осуществлении пиролитическо реакции получения нптридкых слоев в Бакуул;е из-за незначительных количеств реагепгов, необходимых для синтеза пленок (процесс ведется npii давлении - lLi- мм рт. ст.), и отсутствия водорода решен вопрос экономичности и безопасности. Однако при получении нптрпдпых слоев в ,1е имеются большпе трудности но воспроизводимому нриготовлешпо необходнмой смесп от опыта к опыту и поддержания нужных расходов колпгапентов в ходе одного опыта. Вариант, когда с:.;есь определенного состава готовят при заправке баллона, имеет весьма ограппченное применение, так как позволяет вести синтез лишь при данном соотношении смеси. Кро.ме того, ввиду pasHoii летучести компоненты газовой вытекают из баллона с различной скоростью, что уже через несколько часов после его заправки приводит к все успл;1Бающ:- :.:ся из- енония и плопки liC сос/аву. :3го :в.;ястся oj.iMib;. КДОстатко-м указанного способа пригоговления н подачи рабочей смеси. В силу отмеченных не