Прозрачное электропроводящее покрытие Советский патент 1974 года по МПК H01B5/14 

1

Изобретение может найти прииенение для изготовления прозрачных электродов U покрытии,служащих для снятия статических зарядов, и выравнивая градиента потенциала на поверхности диэлектриков .

Известные электропроводящие покрытия-металлы, окислы-имеют ограниченную область применения. В частности, электропроводящие слои /двуо1шсь олова, окись индия, окислы вольфрама и молибдена не обладают стойкостью к восстановительной среде при повышенной температуре.

Целью изобретения является повышение электропроводности и устойчивости к восстановительной атыос(|)ере.

Цель изобретения достигается тем, что в качестве токопроводящего мате5риала используется слой на мнкрокимпозиции нитрид ниобиядвуокись кремния при содержании 0,1-35 G% двуокиси кремния в слое.

Слой нитрид ниобия - двуокис кремния может быть получен из слоя пятиокись ниобия-двуокись кремния обработкой в токе аммиака при 900°С.

( смеси пятиокиси ниобия с двуокисью кремния можно нанести на диэлектрическую подложку путем гидролиза и спиртового раствора. содержащего пятихлористый ниобии и этиловый э4ир ортокремниевой кислоты.

Меняя содержание двуокиси кремния в слое, можно получать покрытия с удельным поверхностным сопротивлением 10 - см. Светопропускание слоев при увеличении содержания двуокиси кремния увеличивается и для слоя,содержащего 35/& двуокиси кремния /удельное поверхностное сопротивление 3 0,3.10 0ОМ/ составляет 70 в видиыой области спектра. В условиях вакуума /10 мм рт.ст./ и восстановительной атмосферы покрытия из микрокомпозищш нитрид ниобия - двуокись кремния устойчивы до 900°С. Они обладают высокой механической прочностью и адгезией к подложке /Етгавленныи кварц, керундиз/. Длительное пребывание в воде не меняет свойств покрытия. На возду 1 хе. устойчивы при нагреве до зоо с ПРВДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Прозрачное электропроводящее покрытие на диэлектриках, отлитем, что, е е с я чаю целью повышения электропроводности и устойчивости к восстановительной атмосфере, в качестве токопроводящего материала используется слой из микрокомпозиции нитрид ниобия - двуокись кремния при содержании 0,1-35 вес. двуокиси кремния в слое.