ПОКРЫТИЕ НА ДИЭЛЕКТРИКАХ Советский патент 1972 года по МПК C03C17/09 C03C17/245 C04B41/51 

Изооретение относится к области изменения электрических и оптических свойств диэлектриков .путем нанесения на их поверхность тонких проводящих покрытий. Известно покрытие на диэлектриках, включающее молибден. С целью повышения поверхностной электропроводности, покрытие дополнительно содержит двуокись кремния и вольфрам при следующем соотношении компонентов, вес. %: Мо10-50 SiOs15-35 W15-75 Электропроводящее покрытие, состоящее из микрокомпозиции молибдена, двуокиси кремния и вольфрама, может быть получено разными способами: 1-нанесение на .поверхность диэлектрика (стекло, кварц, фарфор, ситаллы и т. п.) слоя из смеси двуокиси кремния, трехокиси вольфрама и трехокиси молибдена с последующей Обра-боткой в атмосфере водорода лри 400.- 800°С, причем исходный слой Si02-МоОз- WOs наносят путем гидролиза смеси этилового эфира ортокремниевой кислоты Si(OC2H5)4, пятихлористого молибдена и шестихлористого вольфрама, растворенных в спирте (в случае использования диэлектриков с .пониженной термостойкостью, например силикатных стекол и др., восстановление в водороде следует проводить в разряде при пониженном давлении); 2-одновременное нанесение в вакууме молибдена, двуо.киси кремния и вольфрама электроннолучевым испарением. Предлагаемый состав позволяет получать покрытие с удельным поверхностным сопротивлением ом и светопропусканием от 10 до 75%. Эти покрытия устройчивы в атмосфере водорода лри температурах 700-800°С, при нагреве на воздухе до 200°С во влажной атмосфере (относительная влажность 80- 90% при 20-40°С) и при длительном воздействии постоянного и переменного тока. Механическая прочность .покрытий очень высока, для снятия их требуется шлифовка абразивным порошком. iB качестве токолроводов можно использовать серебро, впеченное из специальных известных паст, или металлические слои, нанесенные испарением в вакууме. Предмет изобретения

оно дополнительно содержит двуокись кремния и вольфрам .при следующем соотношении компонентов, вес. % :

10-50

15-35 15-75