Способ получения покрытий Советский патент 1975 года по МПК C03C17/00 

1

Изобретение относится к получению материалов с измененными оптическими и диэлектрическими свойствами, а именно к способу получения покрытий на диэлектриках.

Известный способ получения покрытий путем нанесения на подложку смеси окислов .металлов не обеспечивает изменения оптических характеристик в широком диапазоне.

Цель изобретения - обеспечение изменения свойства материалов в широком диапазоне: повышение показателя преломления, обеспечение прозрачности в видимой и близкой инфракрасной областях спектра и проводимости.

Это достигается тем, что подложку с нанесенным на нее покрытием обрабатывают в атмосфере водорода, насыпденного парами селена или серы, при 500-1000°С.

Свойства покрытий определяются соотношением концеитраиий сульфида или селенида .металлов и окислов в с.лое, которое может меняться в широких иределах.

Пример 1. Предлагаемым снособом были получены на поверхности плавленного кварца покрытия состава: сульфид молибдена - двуокись кремния, сульфид вольфрама - двуокись кремния с содержанием двуокиси кре.мния 25-50 мол. %. Исходные слои смеси окислов были получены ги.тролизом смеси этилового эфира ортокремниевой кислоты и пятихлористого молибдена или шестихлористого вольфрама, растворенных в спирте. Температура обработки в с.меси водорода и паров серы 500-700°С. Полученные покрытия толщиной 0,1 мкм прозрачны в области свыше 1 мкм и имеют показатель преломления в зависимости от состава от 1,45 до 3,0. Удельное поверхностное сопротивление покрытий лежит в пределах .

Пример 2. Предлагаемым снособом были получены на иоверхиости плавленного кварца покрытия состава: селенпд молибдена - двуокись кремния, селенид вольфрама-двуокись кремния с концентрацией селепида в слое 50-80 мол. %. Исходный слой из окислов был получен гидролизом смеси этилового эфира ортокремнпевой кислоты и пятихлористого молибдена или шестихлористого во.яьфрама, растворенных в этиловом спирте. Температура обработки в парах селена и водорода 600-800°С. Полученные покрытия толшиной 0,1 мкм прозрачны в области спектра свыше 1 мкм и имеют показатель преломления 3. Удельная поверхностная проводимость лежит в пределах ом-.

Предмет изобретения

Способ получения покрытий путем нанесения на подложку смеси окислов металлов, отличающийся тем, что, с целью повышения показателя преломления, обеспечения прозрачности в видимой и близкой ипфракрасной областях спектра и проводимости, подложку с покрытием обргбатывают в атмосфере водорода, насыщенного парами селена или серы, при 500-1000 С.