Устройство для финишной очистки подложек Советский патент 1974 года по МПК H01L7/68 

1

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и может найти применение для очистки деталей, например подложек, полупроводниковых приборов.

Известны устройства для очистки деталей, содержащие ультразвуковую колебательную систему, состоящую из магнитострикционного преобразователя, концентратора и волновода, в теле которого закрепляется деталь. Узел крепления деталей не обеспечивает равномерного распределения по детали ультразвуковой энергии и полного ее использования.

В предложенном устройстве указанные недостатки устранены благодаря тому, что узел крепления подложек выполнен в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плоскостями, параллельными оси волновода, и снабжен регулируемым упором со стороны, противоположной концентратору.

На чертеже схематично показано предложенное устройство и узел крепления подложки.

Устройство содержит источник электронов, состоящий из термоэмиссионного катода 1, подвижной заслонки 2 для задержки или пропускания потока электронов на подложку 3 и высоковольтного блока, питания 4, и ультразвуковую колебательную систему, состоящую из магнитострикционного преобразователя 5, концентратора 6, волновода 7, в теле которого

выполнен узел кренления 8 подложки с подвижным упором 9.

Перед нанесением покрытия в вакуумной камере очищенную одним из известных способов (химическим, электрохимическим и др.) подложку 3 закрепляют с помощью подвижного упора 9 и устанавливают в узле крепления 8, выполненном в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плоскостями, параллельными оси волновода.

При использовании такого устройства в рабочей камере с давлением мм рт. ст. подложке 3 сообщаются ультразвуковые колебания, обеспечивающие очистку ее от загрязнений, не имеющих с ней прочной кристаллохимической связи. Совместное воздействие ультразвуковых колебаний и бомбардировка потоком электронов позволяет эффективно удалять с поверхности подложки окисную пленку.

Предмет изобретения

Устройство для финишной очистки подложек, содержащее электронно-лучевую систему и ультразвуковую колебательную систему, состоящую из преобразователя, концентратора, волновода и узла крепления подложек, отличающееся тем, что, с целью повышения качества очистки за счет увеличения равномерности распределения но нодложке ультразвуковой энергии и уменьшения ее потерь, узел крепления нодложки выполнен в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плоскостями, параллельными оси волновода, и снабжен регулируемым упором со стороны, противоположной концентратору.