Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок Советский патент 1974 года по МПК H01L1/10 G01N27/00 H05K3/00 

1

Изобретение относится к радиоэлектронике, а именно к технологии тонкопленочных микросхем.

Известен электролит для выявления дефектов в пленке двуокиси кремния, представляющий собой солянокислый раствор бензидина.

Однако применение этого раствора ограничена, его нельзя использовать для определения пористости стеклянных покрытий. Бензидин хорошо растворяется только в соляной кислоте, но в солянокислых растворах растворяются и пленки стекла. Кроме того, бензидия является токсичным веществом.

Целью изобретения является повышение точности определения количества и размеров дефектов в диэлектрических пленках.

Для этого электролит содержит водный раствор фенола и желатину при следующем соотношении компонентов, в вес.%:

Фенол2-5

Желатина0,1-0,5

Водаостальное.

При электролизе окисление фенола происходит только на дефектах тонких диэлектричеСК1ИХ .пленок с образованием продукта темнокоричневого цвета, нерастворимого в воде.

Присутствие в растворе желатины способствует получению более четких фенольных отпечатков.

Пример. Растворением в воде 3 вес.% фенола и 0,1 вес.% желатины приготовляют рабочий электролит. Кремниевую или металлизированную ситалловую пластину, покрытые тонкими стеклянными пленками, погружают в электролит и присоединяют к положительному полюсу постоянного источника тока. Катодом может служить свинец или графит. На электроды подают напряжение 8-10 в в течение 5-10 мин. При этих условиях выявляются нарушения в стеклянных пленках.

Предмет изобретения

Электролит для определения дефектов диэлектрических пленок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения количества и размеров дефектов, он содержит водный раствор фенола и желатину при следующем соотношении компонентов, в вес.%: Фенол2-5

Желатина0,1-0,5

Водаостальное.