Шлюзовое устройство Советский патент 1975 года по МПК C23C13/08 

1

Изобретение относится к нанесению нокрытий в вакууме.

Известно шлюзовое устройство, содержащее вакуумплотный корпус с боковыми откачиваемыми полостями, ротор с гнездами для транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки по периметру корпуса. Однако это устройство сложно в изготовлении, так как оно снабжено системой патрубков, с помощью которых изменяется давление в камере промежуточной откачки.

В предлагаемом шлюзовом устройстве с целью упрощения конструкции и уменьщения натекания воздуха во внутренней стенке корпуса выполнены продольные каналы, сообщающиеся с боковыми откачиваемыми полостями.

На фиг. 1 представлено данное устройство, поперечный разрез; на фиг. 2 - разрез по А-А.

Устройство состоит из вакуумного корнуса 1 с торцовыми крыщками 2 и 3, ротора 4 с гнездами 5 лТ.ля транспортируемых изделий, камеры промежуточной откачки в виде продольных каналов 6 и 7 во внутренней стенке корпуса камеры, сообщающихся с боковыми откачиваемыми полостями, патрубка для откачки 8, уплотнительного устройства 9.

Ротор с продольными каналами 10 образует с корпусом щелевой зазор, а в верхней части корпуса находятся окно 11 загрузки транспортируемых изделий и окно 12 выгрузки их в вакуумную камеру 13 (показана пунктиром).

Устройство работает следующим образом.

Из окна загрузки 11 изделия попадают в гнездо 5 ротора. При вращении ротора загрузочное гнездо с изделием подводится к продольному каналу 6 или 7 камеры промежуточной откачки, где происходит откачка воздуха в гнездах ротора, а затем при очередном повороте на 90° изделие подается в вакуумную камеру. Освободившееся от изделий гнездо в обратной последовательности проходит мимо каналов промежуточной откачки и, подойдя к окну 11, загружается снова.

Через патрубок для откачки 8 постоянно удаляется часть воздуха, ноступающего в боковые полости, соединенные продольными каналами 6 и 7 и каналами 10 в роторе 4.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство, содержащее вакуумплотный корпус с боковыми откачиваемыми полостями, ротор с гнездами для транснортируемых изделий, камеры промежуточной откачки, отличающееся тем, что, с целью унрощения конструкции и уменьщения нате34

кания воздуха через шлюзовое устройство, во дольные каналы, сообщающиеся с боковыми внутренней стенке корнуса вынолнены нро- откачиваемыми нолостями.

490872

//

iU

12

А повернуто

Ш

1 2-.,i3

Фиг.