Шлюзовое устройство Советский патент 1980 года по МПК C23C13/08 

Огкачная полость 3 соединена с откачным патрубком 13 второй ступени отка ки, который закреплен на корпусе 1, В корпусе 1 имеются загрузочное 14 и разгрузочное 15 отверстия для прохода транспортируемых изделий. Для того, чт бы изделие не соприкасалось с внутренней поверхностью загрузочной полости ротора 4, на направляющей Ю установ лен держатель 16 и заслонка 17, кине Матически соединенная с ротором 4. Устройство установлено на рабочей камере 18. Регулируемые упоры 19 предназначены для балансировки рсггора 4 в корпусе 1. Устройство работает следующим оОра зом. Через загрузочное отверстие 14 происходит загрузка изделия в загрузоч ную полость 5 ротора 4. При этом изде лие размещается в направляющей Ю и упирается в держатель 16. При вращении ротора 4 загрузочная полость 5 совмещается поочередно с полостями промежуточной откачки 2 и 3, в резуль тате чего происходит ступенчатая ее откачка. Так как направляющая Ю жестко соединена с осью И, которая при этом закреплена неподвижно в торцовой i epметичной крьшке 6 через ввод вращения 3.2, то направлялощоя 10 остается неподвижной в процессе вращения рото{за 4 В момент совмещения загрузочной полости 5 с разгрузочным отверстием 15 корпуса 1 заслонка 17 открывает держатель 16 и изделие поступает из направляющей 1О в рабочую камеру

Фиг.{ О 18 под собственным весом сохраняя свою ориентацию. Аналогично устройство работает при выгрузке изделий из рабочей камеры. Только установка устройства осуществ 1яется так, чтобы загрузочное отверстие 14 находилось со стороны вакуумной 5абочей камеры 18. В предложенном устройстве обеспечивается сохранение ориентации изделия и повышается надежность загрузки изделия, т.е. исключена поломка изделия и выход из строя шлюзового устройства из-за попадания частиц изделия в зазоры между ротором и корпусом. ормула изобретения Шлюзовое устройство, содержащее корпус с загрузочно-разгрузочнымиотверстиями и размещенный в нем ротор с цилиндрической полостью, отличающееся тем, что, с целью исключения повреждения обрабатьтаемых изделий, устройство ./ снабжено держателем со сквозным отверстием, соосным загрузочно-разгрузочным отверстиям корпуса, установленным неподвижно в полости ротора, и заслонкой, кинематически соединенной с ротором расположенной в торце выходного отверсия держателя. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Joorn. Vac. Sci. Tecbnotogv 973г. V ION 2 p. 393-397. 2.Авторское свидетельство СССР 451753, кл. С 21 а 9/ОО, 1973 прототип).

)