Способ детектирования атомарного кислорода Советский патент 1975 года по МПК G01L9/02 

1

Изобретение относится к способа1М газового анализа и может быть применено для детектирования атомарного кислорода при изучении механизма гетерогенных и гомогенных реакций, определении коэффициента гетерогенной рекомбинации атомов кислорода, при исследовании процессов пиролиза и фотолиза молекул кислорода, двуокиси углерода.

Известен способ детектирования атомарного кислорода по изменению электропроводности тонких полупроводниковых пленок окиси цинка. Недостатками этого способа являются однократность использования окиси цинка и малая величина допустимой концентрации молекулярного кислорода (не более 10 торр).

Предложенный способ позволяет устранить указанные недостатки за счет npHMCiieния в качестве полупроводникового слоя окиси свинца, которую можно многократно использовать в присутствии любых концентраций (от 10- до десятков сотен торр) молекулярного кислорода.

Предложенный способ детектирования атомарного кислорода заключается в следующем.

На кварцевую иодложку наносят поликристаллическую пленку окиси свинца толщиной

10-20 мк. Слой подвергают термовакуумной обработке, а затем пассивации в кислороде. После этого осуществляют детектирование атомарного кислорода путем измерения сопротивления окиси свинца. Чувствительность способа составляет атомов кислорода в 1 с: прилегающего к пленке пространства в присутствии молеку.1ярного кисло эода в диапазоне от 10 до десятков и сотен торр.

Предмет изобретения

1.Способ детектпрования атомарного кислорода с помощью топкого полупроводникового слоя, заключающийся в термовакуумной обработке слоя и измерении его сопротивления, от л и ч а ю uui и с я тем, что, с целью детектирования ато.марпого кислорода в присутствии молекулярного кислорода в диапазоне ко1щентраций от 10 до сотен торр и многократного использования полупроводникового слоя, в качестве полупроводникового слоя применяют окись свинца.

2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью устранения влияния молекулярного кислорода, слой окиси свинца подвергают пассивации в кислороде.