Устройство для вращения,вертикального перемещения и взвешивания слитка,вытягиваемого из расплава по способу Чохральского Советский патент 1985 года по МПК C30B15/30 C30B15/28 

1V Изобретение относится к области выращивания полупроводниковых материалов, в частности, может быть использовано при выращивании монокрис таллов по способу Чохральского. Известно устройство для вращения вертикального перемещения и взвешивания слитка, в котором держатель слитка подвешен на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие нл тензоэлементы, Тензоэлементы вра щаются вместе со штоком и соединены с контрольно-регистрирующей аппаратурой через вращающиеся контакты, поэтому полезные сигналы значительно зашумЛены помехами (до 25% по амплитуде) от термо-ЭДС, наводимой в результате трения неподвижных контактов о вращающиеся контактные кольца. Целью изобретения является разработка устройства, позволяющего устранить указанные вьше помехи контроля и регулирования технологических параметров за счет исключени применения скользящих контактов для передачи сигналов с устройства на тензоэлементы. Для этого тяга, на которой подвешен держатель слитка, выполнена в виде упругой нити, шарнирно связанной с тензоэлементами, помещенньв4и в неподвижно установленнь1й кор пус, а верхний конец штока введен в корпус при помощи подшипника. На чертеже приведена функциональ ная схема устройства. Устройство для вращения, вертикального перемещения и взвешивания слитка включает полый шток 1 в герметичной камере 2 с приводами 3 вращения и перемещения, упругую нитьтягу 4, проходящую в полости охлаждаемого штока, па которой подвешен держатель 5 слитка, устройство 6 дпя взвешивания кристалла, расположенное . вне зоны действия высоких температур. Верхняя часть тяги 4 закреплена в подшипнике 7 качения, внешняя неподвижная обойма которого непосредственно соединена с устройством 6 взвешивания, расположенным в герметичном корпусе 8. На вращающемся штоке 1, имеющем уплотнение 9, установлен радиальный шарикоподшипник 10, внешние неподвижные обоймы которого закреплены в корпусе 8. Вертикальная направляющая 11 исключает вращательное движение корпуса 8. На тяге 4 подвешен держатель 5 слитка. Вращение слитку 12 передается от штока 1 через наконечник 13 держателя 5. Для свободного перемещения держателя слитка в вертикальном направлении наконечник 13 имеет прорези, в которых свободно перемещается штифт 14. Работа устройства состоит в следующем. Вращение от штока 1 передается через наконечник 13 слитку 12. Подшипник 7 качения, радиальный шарикоподшипник 10 и вертикальная направляющая 11 исключает вращательное движение устройства 6 взвешивания, находящегося в корпусе 8 относительно герметичной камеры.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВРАЩЕНИЯ, ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И ВЗВЕШИВАНИЯ СЛИТКА, ВЫТЯГИВАЕМОГО ИЗ РАСПЛАВА ПО СПОСОБУ ЧОХРАЛЬСКОГО, включающее держатель слитка, ггодвешен- ный на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие на тензо- элементы, отличающееся тем, что, с целью увеличения точности измерения веса слитка, тяга выполнена в виде упругой нити, шар- нирно связанной с тензоэлементами, которые помещены в неподвижно установленный корпус, а верхний конец штока введен в корпус с тензоэлемен— тами при помощи подшипника.Г^^^ ,^'/«(Лс:•^^4^О5;о ю00ел