4;
О О5 4:
О
ю
Изобретение относится к вытягиванию, и расплаву слитков, преимущественно монокристаллов полупроводников по способу Чохральского.
В известном устройстве для вытягивания слитков из расплава на затравку, включающее введенный сверху в полость камеры полый шток с здтравкодержателем, прикрепленным к нему при помощи тяги, передающей , соответствующее весу слитка усилие на тензоэлементы.
С целью повышения точности контроля веса вытягиваемого слитка в предлагаемом устройстве тяга с длиной, превышающей длину щтока, подвешена на упруго деформирующейся мембране, кинематически связанной с несущей тензоэлементы консольной балкой.
Для устранения перепада давления по сторонам мембраны консольная балка с тензоэлементами установлена в полости герметичного корпуса.
На чертеже изображена схема пред лагаемого устройства.
Устройство включает введенный сверху в полость камеры (на чертеже не показано) через уплотнение 1 пол
шток 2, закрытьй сверху гофриронанно мембраной 3. По оси штока на мембране подвешена тяга 4, на нижнем конце которой укрепляют затравкодержатель (на чертеже не показано). Усилие, соответствующее весу слитка 5, в процессе вытягивания передается с мембраны на консольную балку 6 с тензоэлементами 7 посредством скобы 8.
Для возможности ликвидации перепада давления по сторонам мембраны, консольная балка с тензоэлементами i установлена в полости герметичного корпуса 9.
Тензоэлементы, наклеенные на верхнюю и нижнюю поверхность балки и собранные в схему электрического моста, воспринимают усилия растяжения и сжатия. Выходной сигнал моста чере контакты 10 подается на электронный усилитель, регистрирующий прибор или корректирующее устройство (на чертеже не показано).
Шток с тягой в процессе вытягивания вращают. Корпус 11 с токосъемниками 12 перемещают по вертикали вместе со штоком, но не вращают.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для вращения,вертикального перемещения и взвешивания слитка,вытягиваемого из расплава по способу Чохральского | 1972 |
|
SU469285A1 |
| СПОСОБ ВЫТЯГИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1990 |
|
RU2006537C1 |
| Устройство для непрерывного горизонтального литья | 1980 |
|
SU950492A1 |
| Способ автоматического управления процессом получения профилированных кристаллов из расплава | 1989 |
|
SU1700112A1 |
| УСТАНОВКА ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ САПФИРА МЕТОДОМ КИРОПУЛОСА | 2014 |
|
RU2555481C1 |
| ДАТЧИК РАЗНОСТИ ДАВЛЕНИЙ ГАЗОВОЗДУШНЫХ СРЕД | 1990 |
|
RU2026541C1 |
| Гидравлическая тянущая клеть многоручьевой горизонтальной машины непрерывного литья чугуна | 1987 |
|
SU1412884A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛИТКОВ КРЕМНИЯ В ФОРМЕ ШИРОКИХ ПЛАСТИН РАЗЛИЧНОЙ ТОЛЩИНЫ | 1995 |
|
RU2095495C1 |
| Установка для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов из расплава | 1985 |
|
SU1397555A1 |
| Устройство для вытягивания слитка из кристаллизатора машины полунепрерывного литья металлов | 1982 |
|
SU1087251A1 |
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫТЯгаВА- НИЯ СЛИТКОВ ИЗ РАСПЛАВА на затравку, включающее ввденный сверху в полость камеры, полый шток с затрав- кодержателем, прикрепленным к нему;При помощи тяги, передающей соотве- ствующее весу слитка усилие на тен- зоэлементы, отличающееся тем, что, с Делью-повышения точности контроля веса вытягиваемого слитка, тяга с длиной, превьшающей длину штока, подвешена на упруго деформирующейся мембране, кинематически связанной с несущейтензоэлемен-i ты консольной балкой.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью устранения перепада давления по сторонам мембраны, консольная балка с тензоэлементами установлена в полости герметичного корпуса.S
