Способ определения адгезии токопроводящих покрытий Советский патент 1975 года по МПК H01L3/20 G01N19/04 

Изобретение относится к технике контроля токопроводящих покрытий.

Известен магнитоэлектрический способ оиределения адгезии токопроводящих иокрытий, недостатком которого является необходимость создания мощного магнитного поля к невозможность контроля тонких иокрытий, не выдерживающих пропускания через них значительных токов.

Для обеспечения возможиости определения адгезии тонких токопроводящих покрытий но предлагаемому способу между токопроводяЩим покрытием на подложке и дополнительным электродом, расположенным иа расстоянни, исключающем электрический пробой между ними, прикладывают возрастающее по амплитуде напряжение и по величине напряженности электрического поля между электродами в лгомент отрыва токонроводящего покрытия от подложки судят об адгезии токопроводящих покрытий.

Предмет изобретения

Способ определения адгезии токопроводящих покрытий с использованием электромеханического взаимодействия, отличающийся тем,

что, с целью обеспечения возможности определения адгезии тонких токопроводящих покрытий, между токопроводящим покрытием на нодложке и дополнительным электродом прикладывают возрастающее по амплитуде папряжение, и по величиие напряженности электрического поля между электродамИ в момент отрыва токопроводящего покрытия от подложки судят об адгезии токопроводящих покрытий.