Суспензия для магнитной разбраковки изделий Советский патент 1975 года по МПК H01L7/00 

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике в частности к контролю изделий с помощью магнитной суспензии и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов (диодов, транзисторов), где сортировка кристал лов осуществляется магнитным полем. Известен продесс разбраковки ПП-кристаллов размером более 0,38 х 0,38 мм, который осуществляется магнитным полем. С этой целью в процессе определения элект рических параметров на кристаллы, не удов летворяющие техническим требованиям, нано сится магнитная метка. После проведения скрейбирования и ломки пластин вся масса кристаллов помещается в магнитное поле, которое и удаляет бракованные изделия. В известном составе в качестве дисперсионной среды используется вода. Однако водные суспензии имеют существенный недостаток, заключающийся в том, что ввиду быстрого испарения воды физико-химически свойства этих суспензий изменяются во .времени: увеличивается концентрация и, как следствие этого, вязкость суспензии. По этим причинам не наблюдается стабильности в работе устройства для нанесения меток даже в течение рабочей смены. Кроме того эта суспензия не пригодна для разбраковки кристаллов малых размеров (О,38хО,38 мм и меньше), т. е. изделий, при разбраковке которых требуется автоматизация. Основная трудность, которая возникает при разбраковке кристаллов малых размеров, заключается в том, что в этом случае суспензия должна быть более концентрированной, чем суспензия для разбраковки ПП-кристаллов больщего размера. Испытания показали, что для разбраковки ПП-кристаллов размером 0,38x0,38 мм и меньще концентрация суспензии должна быть ниже 15% объемных. Цель изобретения - обеспечение необходимой подъемной силы при разбраковке магнитным полем кристаллов малых раз- , рядов и механизации процесса ломки пластин. Для этого предлагается суспензия содержащая магнитный материал и олеиновую кислоту в следующем соотношении (в вес. ч.):

Магнитный Мготериал25-59

Олеиновая кислота75-41

Применение олеиновой кислоты в качестве дисперсионной среды позволяет получать легкотекучие суспензии с концентрацией до 25% объемных, поэтому эти суспензии пригодны для разбраковки кристаллов малых размеров. Кроме того, при термообработке (160°С) получаются магнитные метки с большой механической прочностью и высокой адгезией к поверхности кристаллов, т. е. олеиновая кислота выпол|няет функцию связи.

Технолотия приготовления предлагаемой суспензии состоит в следующем: магнитный порошок диспергируют в олеиновой кис;готе на вибромельнице в течение 1-2 час. о1-оную суспензию наносят на по|верхность ПП-кристаллов методом прин дительной дозировки.

Предмет изобретения

Суспензия для магнитной разбраковки изделий например, полупроводниковых кристаллов, содержащая дисперсионную среду и магнитный порошок, о т л и ч э ю- щ а я с я тем, что, с целью обеспечения /необходимой подъемной силы при разбра.ковке магнитным полем кристаллов малых разрядов и механизации процесса ломки пластин, в качестве дисперсионной среды (Использована олеиновая кислота, а компоненты взяты в следующих соотношениях (в вес. ч.):

Магнитный порошок 25-59

Олеиновая кислота41-75.