Материал испарителя Советский патент 1975 года по МПК C23C13/00 C04B35/48 

i Изобретение относится к нанесению крытий в вакууме, в частности к материалам испарителей (тиглей) для испарения активных тугоплавких материалов. Известны высокотемпературные материалы, используемые в качестве тиглей для испарения активных тугоплавких металлов на основе двуокиси хщркония и соединения титана. Однако такие тигли неустойчивы к перегретому (вьше 1750°С) расплаву и кро ме того, активные тугоплавкие металлы взаимодействуют с материалом тигля за время испарения. Цель изобретения - повьпиение термостойкости материала испарителей в условиях вакуума и повышение чистоты испаряемого металла. Для этого в материал испарителя дополнительно вводят окись иттрия при следующем соотношении компонентов, вес. %: 1г о 7О-85 V о 10-20 Соединение титаиа Кроме того, в качестве соединения титана используются карбид титана или диборид титана. Испарители изготавливают прессованием увлажненной шихты под давлением 1ООО кг/см с последующей сушкой в вакуумном сушильном шкафу. Обжиг также проводят в вакууме. После обжига в вЬкууме материал испарителя имеет следующие характеристики: усадка - 10%; кажущаяся плотность - 4,17 3 г/см ; открытая пористость 1,5%; потери в весе - 2,42%. Материал испарителя характеризуется повышенной термической стойкостью в условиях вакуума, а при исследовании металлизационного покрытия после испарения титана в испарителях предлагаемого состава . загрязнения покрытия посторонними примесями не обнаруживают.