Способ масс-спектрометрического анализа дуплетов и мультиплетов масс Советский патент 1975 года по МПК G01N27/62 B01D59/44 

«замуровыванием при распылении реактивного металла катодов. Активные газы откачиваются за счет образования химических соединений с распыленными реактивными металлами.

Скорость откачки малоактивных газов определяется обоими факторами. Таким образом, если для откачки инертных газов обязательным является распыление вещества катодов, т. е. наличие магнитного и электрического поля, то для откачки активных газов достаточно наличия предварительно напыленного слоя металла (соответственно при отсутствии магнитного и электрического полей).

Точность анализа по предлагаемому способу тем выше, чем сильнее отличаются скорости откачки для анализируемых компонентов. Наиболее точен анализ смесей инертных и активных газов. Например, можно анализировать Аг в смеси с СзН4, С20, CN2, C2H2N (40 а. е. м.). Кг в смеси с С2Н2:ЫзО, СзН2ЫО2 (84 а. е. м.) и т. д.

Пример. Исследование способа разделения N2 (28,0151 а. е. м.) и СО (28,0038 а. е. м.).

Задача заключается в определении малого содержания N2 (менее 1% объема) в смеси с преобладанием С02 (более 90% объема).

Известно, что при ионизации молекул С02 в ионном источнике масс-спектрометра в массспектре возникает пик СО.

Измерение N2 при наличии СО потребовало бы использования масс-спектрометра с разрешающей способностью более 2500. По предлагаемому способу использован масс-спектрометр с разреи1ающей способностью около 30, снабженный магниторазрядным насосом. При выключенно.м напряжении питания насоса скорость откачки С02 сохраняется, скорость откачки N2 резко падает. Пик СО2 в массспектре не изменяется (следовательно, не изменяется и СО), а ник 28 а. е. м. вследствие увеличения N2 за одну минуту вырастает в 20 раз. Соответственно во столько раз увеличивается точность измерения N2.

Эффективность предлагаемого способа заключается в возможности проведения непрерывного анализа на потоке и замене сложного масс-спектрометрического оборудования со

сложной юстировкой на простой масс-спектрометр.

Настоящий способ позволяет производить анализ таких компонентов, для которых насос имеет различную скорость откачки в выключенном состоянии.

Предмет изобретения

Способ масс-спектрометрического анализа дуплетов и мультиплетов масс, по которому

производят откачку анализируемых веществ с помощью магниторазрядного насоса, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, измерение производят в режиме периодического изменения

скорости откачки каждого анализируемого компонента путем подачи и снятия электрического и магнитного поля магниторазрядного насоса соответственно включением и выключением напряжения анод-катод и тока электромагнита.