СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ Советский патент 1973 года по МПК H01B19/04 

1

Известен способ получения эл«кТро проводящего покрытия из микрокомлозиции металла с окислом-диэлектриком лутем одновременного .испарения в вакууме металла -и оки-сла-диэлектрика (щап-ример, хрома w моноокиси крем-ния). Одвако такой способ имеет сложную технологию.

Для получения П01крыт ии. с регулируемыми характеристиками электропроводности на по верхности нагревостойких диэлектриков по предлагаемОМу способу на покрываемую поверхность наносят смесь окислов-диэлектриков, одни из которых устойчивы к действию восстановителъной атмосферы, а другие во€ станавли.ваются до металла, после чего по крытие обрабатывают в восстановительной атмосфере.

Смесь окислов получают путем гидролиза смеси легко гидролизующихся соединений на покрываемой поверхности.

СПособ осуществляют следующим образом.

На поверхность диэлектри ка (стекла, плав,леного кварца, фарфора и т. п.) наносят слой из смеси двух или нескольких окислов путем гидролиза смеси легко гидролизующи-хся соединений, растворенных в спирте или другом летучем растворителе, одни из которых при гидролизе образуют окисел-диэлектрик, устойчивый к восстановительной атмосфере, а другие- окисел, восста-Навливающийся до металла в этой атмосфере при 400-1000° С. Затем покрытие обрабатывают, например, в атмосфере водорода а том же интервале температур. В результате образуется электропроводящий .слой из микрокомпозиции диэлектрик - металл.

Электропроводящие слои толщиной 0,01 - 0,5 мкм могут быть получены, напри мер, из раствора этилового эфира ортокремневой кис лоты и щестихлористото вольфрама или пятихлористого .молибдена в этиловом спирте. Вместо эфира ортокремневой кислоты может быть использован этиловый спирт ортотитановой кислоты, а также их смеси. Р1з этих растворов в лабораторных условиях получают композиционные |Слои состава SiOs-W, TiOa-Mo. SiOa-Mo, TiO2-W. TiOa-SiOa- Mo.

Удельная поверхностная проводимость получаемых покрытий может лежать в пределах

10-2-10при этом увеличение содеромжания окисла-диэлектрика в слое вызывает уменьщение проводимости. Прозрачность покрытий в видимой области спектра увеличивается с повыщением сопротивления слоя и лежит в пределах 10-70%.

Электрические и оптические.свойства получаемых покрытий не меняюТ;С,я под действием восстановительной атмосферы (водорода и др.), по крайней мере.. до --температур их

формирования (обработки в йодороде исходного слоя смеси окислов), чтЬ особенно важно в случае их использования В .газоразрядной аппаратуре.

Изобретение может быть «опользовано для изготовления, пленочных резисторов различного сапротивления и получения слоев, пригодных для выравнивания .гра.диента потенциала iB BibtcoKOBOJibtHbix устройств ах и онятия Вредных статических зарядов, а также прозрачных элактропров.одящих покрытий, устойчивых к действию восстановительной атмосферы.

П р е д ,м. е т и з о -б р е т е н и я

1. Способ -получения электропроводящего покрытия из микрокомпози:Ц1ИИ металла с

окислом-диэлектриком, отличающийся тем, что, с целью получения покрытий с регулируемыми характеристиками электропроводности на пов-ерхности нагревостойких диэлектриков, на покрываемую поверхность наносят смесь окислов-днзлектриков, одни из которых устойчивы к дейстВИЮ восстановительной атмосферы, а другие восстанавливаются до металла, после покрытие обр абатывают в восстановительной атмосфере.

2. Способ по -п. 1, отличающийся тем, что смесь окислов получают путем гидролиза смеси легко гидролизующихся соединений на покрываемой поверхности.