Способ нанесения покрытий Советский патент 1980 года по МПК C23C7/00 

Известен способ нанесения покрытий напылением, включающий распыление наносимого материала газовой струей, например плазменной.

Недостаток известного способа заключается в том, что он не дает возможности регулировать термосиловое воздействие на покрываемую поверхность, которое особенно необходимо при нанесении покрытий на мелкие и тонкостенные изделия.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что в процессе напыления проводят откачку газа из зоны распыления.

Это позволяет регулировать термосиловое воздействие газовой струи на подложку.

Согласно предлагаемому способу в процессе напыления покрытия из зоны, прилегающей к срезу сопла распылителя, откачивают газ, причем откачку начинают до подачи наносимого материала в струю, а количество откачиваемого газа изменяют в зависимости от природы покрываемого материала и требуемой температуры подложки. В некоторых случаях скорость откачки газа может превышать скорость истечения газовой струи вплоть до удвоенного значения этой скорости, но обычно количество откачиваемого газа не превышает 100% расходуемого.

Пр и М е р. На латунную фольгу толщиной 0,1 мм наносят алюминиевое покрытие плазменным напылением. Процесс ведут в следующем режиме:

Ток350 А

Напряжение40 В

Расход аргона1,5

Дистанция напыления60 мм

Расход порошка3 кг/ч

Без откачки газа фольга нагревается до 550°С, окисляется, скручивается и покрытие отслаивается. При тех же параметрах напыления и откачке распыляющего газа в количестве 70-100% от его расхода фольга нагревается до 90°С и полностью устраняется силовой напор газовой струи. При этом фольга не деформируется и не окисляется. На такой фольге получают алюминиевое покрытие толщиной 100-150 мкм,

прочно сцепленное с основой.

Предлагаемый способ позволяет получать покрытия на мелких (0,5-1,0мм) сферических частицах без выноса их из зоны напыления и перегрева, напылять материалы на подложки при большом различии в коэффициентах линейного расширения, крепить тонкопроволочные датчики и микротермопары на тонкостенных изделиях без деформации и разрушения, а также получать покрытия

с повышенной пористостью.

34

Формула изобретенияной, отличающийся тем, что, с целью

Способ нанесения покрытий напылением, газовой струи, в процессе напыления прововключающий распыление наносимого ма- дят откачку газа из зоны распыления, териала газовой струей, например плазмен- 5

496819

регулирования термосилового воздействия