Способ получения диэлектрических слоев Советский патент 1976 года по МПК H01L49/02 

щения образцов, при которых проявляется лишь.коллоидная полоса абсорбции с максимумом у А 570 мкм, наличия центров иного тина (F-, R-, /И- и т. д.) не обнаруживается.

Предельные глубины кластеризации для пленок с другими размерами зерен приведены на чертеже.

На чертеже видно, что размер зерна 0,05-- 0,07 мкм для NaCl является оптимальным для проведения с максимальной эффективностью процесса активирования NaCl - пленки на наибольшую глубину (до 3 мкм.).

Формула изобретения

1. Способ получения диэлектрических слоев, например, слоев хлористого натрия, пуо т л и ч а ю щи итем активации в вакууме.

с я тем, что, с целью достижения высоких значений электронной проводимости, данные сло.и активируют металлическими кластерами натрия посредством обработки низкоэнергетической плазмой катодного разряда в аргонокислородиой атмосфере с кспользованнем кадмиевого катода, атомный пучок нз которого стимулирует формирование указанных кластеров натрия.

2. Способ по п. 1, от л и ч а ю ш, и йс я тем, что, для получения однородно активированных металлическими кластерами натрия слоев хлористого натрия толщиною до 3 мкм, применяют мелко диспергированные поликристаллические пленки хлорида натрия с заданными размерами кристаллитов 0,05-0,07 мкм, оптнмизирую|щне условия формирования указанных кластеров натрия.

ff.02

B.SS

д.25 O.S5 1,3

0.1

f,flXH