Сверхвысоковакуумная установка Советский патент 1976 года по МПК F04B37/08 

(54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

1

Изобретение касается вакуумной техники.

Известны свёрхвьюоковакуумные устанрв-ки, содержащие помеченный в вакуумную полость реципиент, соединенньй с гелиевым крноконденсапионным и высоковакуумным g диффузионным насосами, гелиевый и азотныйсосуды, подключенные к криоконденсааионно- му насосу

Однако эти установки не обеспечивают достаточной экономичности при работе и |0 спохсны в обслуживании, так как криоповер1Хности охлаждаются вынесенными за пределы установки устройствами.

Цель изобретения - повышение экономичности и упрощение обслуживания установки. |j

Это достигается тем, что сосуды помешены внутрь вакуумной полости, и гелиевый сосуд выполнен цилиндрическим и расположен по оси азотного сосуда.

На фиг. 1 схематически изображена опи-2в сываемая сверхвысоковакуумная установка; на фиг. 2 - разрез разрез А.-А на фиг. 1.

Установка содержит высойОЬакууйнын диффузионный насос 1, гелиевый криоконденсацнонный насос 2, реципиент. состо1пиий из 35

исследовательской камеры 3 и камеры-криостата 4 с держателем образца 5, которые стыкуются одна с другой фланцевыми совдйнени$1ми 6,7 и 8 н образуют сверхвысоко вакуумируемую колонну, которая помешена :в цилиндрическуто обечайку 9, снабженную плоским днишем Юн верхней крышкой 11,

В свободное от сверхвысоковакуумируе мой колонны пространство вакуумной поло :сти помешен гёлиеиьгй сосуд 12, выполне1| ныЛ цилиндрическим и распешоженный по .:оси азотного сосуда 13. Сосуд 12 ti 13 .соединены нижней частью с. соответствутов;щими л- вушками криоконденсационного нан coca 2 трубками 14 и 15, по которьтм осушествлйется их постоянная подпитка хладагентами. В вакуумной полости размЬ щены также соОуды 16 и 17 с жидким азотом, которые соединены со змеевиками охлаждения корпусов камер 3 и 4. Вакуумная полость подключена к высоковакуумно му диффузионному насосу 18 с вентилем 19.

Вклкзчают диффузионные и-асосы I и 1в, Пр |юстижении давления в йо у -мнЬй (П:Ч7 jCTH не BbJuie и в сверхвакууми.уруемой колон|(в 10 - 10 тор осущ&ctBflfflOT- цикл колонны, если в 0ТОМ есть нвебходимость (такая }Гео6ходи мость пояовляется, еоли колонна длительио© время была разгерметизирована). Еей« же цикл. прогрева не нужен, то по до ё111Жеяки указанных уровней вакуума зат лают, жидкий аэрт в сосуды 13, 16 и 17 fno верхним патрубкам, уплотняющимся в Крышке 11. Жидкий азот по мере заполне 1г(ия сбсудов поступает по трубкам в змееви-) охлаждений корпусов насоса 2, камер 3 I и 4 и азотнъгх ловушек криоконденсаШ1онно ;го насоса и постоянно подпитывает их по « (принципу сообшаюшихся сосудов. По достижении корпусом криоконденсациЬнц ного- насоса 2 и азотных ловушек темпера- / туры жидкого азота заливают жидкий гелий| в сосуд 2,1Йвтор|лЙпеирйнцт1у ьсообшаю- « - -.. --, , -,,„1 ., Л тих( я сосупов пос;тупает в гелиевус- лпвушку криоконденсационного нвсосо 2, и как только температура ее снизится до 4,2 К, вакуум ia репжгшвнте повысится еще не не,сявпько порядков. Формула изобретения - Сверхвысоковакуумная установйа, содер жащая помешенный в.: вакуумную-полость ,реципиент, соединенный с гелиевым криокой денсационным и высоковакуумным ди4фузио«ным насосами, гёлиевыЛ и азотный сосуды; подключенные к|МЙЗ{б1аЬеисацИбЙнЬЙ унасо; су, отличающаяся тем, что, с целью повышения экономичности и упрощения обслуживания, сосуды помещены внутрь вакуумной полости, и гелиевый сосуд выполнен цилиндрическим и расположен по1оси| азотного сосуда.