Криогенный сверхвысоковакуумный насос Советский патент 1976 года по МПК F04B37/08 

1

Изобретение относится к сверхвысоковакуумной технике, физике низких температур и криогенной технике.

Известны криогенные сверхвысоковакуумные насосы, содержащие камеру с криоконденсационными и криосорбцнонными поверхностями.

Предлагаемый насос отличается от известных тем, что в нем камера разделена кольцевой нерегородкой на две полости, образующие с днищем но всему периметру зазор, перекрываемый в рабочем режиме жидким, затем затвердевщим криогенным веществом, и одна из иолостей сообщена с реципиентом, а другая- с системой предварительной откачки. К днищу камеры по обе стороны перегородки присоединены концентрически расположенные нерфорированиые кольца.

Такое вынолнение насоса позволяет получить в реципиенте безмасляный вакуум выше 10-13 т-ор

На чертеже схематически изображен предлагаемый насос.

Насос содержит корпус 1 с установленным сосудом 2 с жидким гелием, образованным внутренним 3 и наружным 4 днищями, боковой стенкой 5, нижней 6 и верхней 7 крьипками и наружной боковой стенкой 8, при этом к нижней крышке 6 сосуда 2 припаяна жалюзийиая сборка 9 и перегородка-обечайка 10, образующая с днищем 3 кольцевой зазор 11, а к верхнему днищу 3 приварены перфорированные концентрические медные кольца-обечайки 12. Обечайка 10 делит объем, сообщающийся с рециииентом, на внутреннюю полость 13 и внешнюю полость 14, которая сообщается с трубками 15 и 16 для заливки криогенной жидкости и откачки ее наров. Вокруг сосуда

2 с зазором 17 установлен повторяющий конфигурацию сосуда 2 сосуд 18, к иаружному днищу 19 которого приварена корзина 20 с сорбентом, поддерживающим вакуум в пространстве между сосудами и в охранной полости 21.

Сосуд 18 снабжен патрубками 22 и 23 для подвода криогенной жидкости и откачки ее наров.

На нижней крышке 24 сосуда 18 установлена оптически плотная сборка 25, через которую проходит откачиваемый газ из реципиента, стыкующегося с фланцем насоса 26 фланцем 27.

Насос работает следующим образом.

После разгерметизации насоса через трубку 15 в полости 13 и 14 заливается криогенная жидкость, заполняющая промежутки между перфорированными обечайками 12. За