Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Советский патент 1976 года по МПК B24B37/04 B24B31/10 B24B7/04 

Устройство предназначено для абразивной обработки нлоских поверхностей деталей и может быть использовано в электронной промышленности для полировки, например, полувроводниковых пластин.

Известны устройства для обработки плоских поверхностей деталей, размещенных в кассете и взаимодействующих под действием механизма прижима с П1ритироч-ной плитой, связанной через упругую торсионную подвеску с электромагнитным вибрационным приводом.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что его плита снабжена круговыми нанравляющими, взаимодействующими с образованным на торце кассеты кольцевым коническим пазом, при этом механизм прижима выполнен в виде стержней с фладцами, проходящих- через кассету. К;роме того, устройство снабжено регулировочными прокладками, размещенными между фланцами и кассетой. Это позволяет упростить конструкцию устройства и обеспечить раЗмерную обработку изделий.

На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство. Оно содержит притирочную плиту 1, снабженную круговыми направляющими 2, необходимыми для создания равномерного тягового усилия и устранения перекоса в процессе обработки, кассету 3 с кольцевым коническим пазом а на торце и механизм прижима, на котором закреплена обрабатываемая деталь 4. Притирочная нлита жестко связана с виброприводом 5, выполненным в зиде электромагнитного вибратора, состоящего из электромагнита 6 для создания вертикальных колебании и трех электромагнитов 7 для создания крутильных колебаний. Механизм прижима выполнен, в виде стержней 8 с фланцами 9, проходящих через кассету. Для обеспечения размерной обработки устройство снабжено регулировочными проюшдками 10, размещенными между фланцами и кассетой.

Обрабатываемую деталь закрепляют на стержне 8 при помощи воско-канифольной смеся. Зазор Ах между кассетой 3 и фланцами 9 механизма прижи.л1а должен быть равен толщине снимаемого материала при обработке и выставляется При помощи регулировочных прокладок 10. Под действием направленных гармонических колебаний, создаваемых виброприводом, притирочная плита 1 может совершать возвратно-поступательные

движения, например, по эллиптической траектории с амплитудой 3-5 мм, которые воздействуя на .кассету, при-водят ее к вращательному движению по круговым кольцевым направляющим 2 притирочной плиты вокруг

своей оси. В результате вибрационного вра