Координатная измерительная машина Советский патент 1976 года по МПК G01B5/08 G01B121/08 

как и аэростатические опоры портала, они установлены на регулировочных винтах 20 со сферическими головками. На чертежах видны расположенные вдоль траверсы копиры 21-24 узлов компенсации осадки портала и прогиба траверсы.

На схеме включения аэростатических опор в пневмосеть (см. фиг. 5) видны аэростатические опоры 11 (первая группа) и 12 (вторая группа) направляющих портала, регуляторы давлепия воздуха 25 и 26, подводимого к упомянутым группам, и копиры 21 и 22, воздействующие на упомянутые регуляторы.

Аналогично изображены аэростатические опоры 16 (первая группа) и 18 (вторая труппа) направляющих каретки, регуляторы дав ления воздуха 27 и 28, подводимого к этим группам, и копиры 23 и 24, управляющие этими регуляторами.

Работу координатной измерительной мащины поясняют фиг. 6-12. На этих фигурах схематически изображены колонны 3, 4, портал с траверсой 5, каретка 6, аэростатические опоры 11 и 12 портала и аэростатические опоры 16 и 18 направляющих каретки.

Когда каретка 6 находится посредине траверсы 5 (см. фиг. 6), ее вес равномерно распределяется между аэростатическими опорами 11 и 12, и в них устанавливается одинаковый зазор 5.

В этом положении с помощью регулировочных винтов 15 юстируют траверсу, добиваясь ее параллельности поверхности стола 2. Если теперь сместить каретку из среднего положения, например, вправо (см. фиг. 7), то ее вес распределится неравномерно, и в случае отсутствия узла компенсации осадки портала зазор в первой группе аэростатических опор уменьшится, а во второй увеличится. Это приводит к перекосу траверсы и возникновению погрешности измерения.

Для компенсации этой погрешности регулятор давления воздуха 25, подводимого к аэростатическим опорам И, увеличивает давление, а регулятор 26 - уменьшает давление, подводимое к аэростатическим опорам 12, и портал выравнивается (см. фиг. 8).

Соответствующим подбором профиля копиров 21 и 22 можно добиться постоянства зазора 5 в аэростатических опорах портала при любом положении каретки 6.

Аналогично действует компенсатор прогиба траверсы.

В среднем положении каретки 6 под влиянием ее веса траверса прогибается на величину f (см. фиг. 9). Для компенсации прогиба регуляторы давления 27 и 28 увеличивают его в обеих группах аэростатических опор 16 и 18 одинаково, и каретка поступательно поднимается (см. фиг. 10).

Если каретка 6 смещена из среднего положения (см. фиг. И), то прогибы траверсы под первой и второй группами аэростатических опор неодинаковы (соответственно /i и /2), и кроме смещения каретки возникает и ее перекос. Для компенсации этих погрешностей давление в опоре 18 должно быть большим, чем в опоре 16, что и достигается соответствующим подбором профилей копиров 23 и 24.

Соответствующей юстировкой копиров 21- 24 можно добиться строго поступательного, параллельного поверхности стола 2 перемещения каретки 6 (см. фиг. 12).

Формула изобретения

1. Координатная измерительная машина, содержащая основание, стол для закрепления контролируемого объекта, перемещаемый вдоль основания портал с траверсой и двумя группами аэростатических опор, каретку, перемещаемую вдоль траверсы с двумя группами аэростатических опор, пиноль с чувствительным элементом и узлы компенсации прогиба траверсы и осадки портала, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности, узлы компенсации прогиба траверсы и осадки портала выполнены в виде регуляторов давления воздуха, подводимого к аэростатическим опорам, и расположенных вдоль траверсы копиров, управляющих этими регуляторами.

2. Машина по п. 1, отличающаяся тем, что число управляющих копиров равно числу групп аэростатических направляющих.

иг.1

I ту j

Фиг. 5

(fv.

-J8 Jf

1

19

Т

±16

Фиг. 5

12

.12

-1

// уу//7//7/7

/

77

9uz.6

///////////////

II .

,77

.7/

у /////////7///

Фие. 8

7/

777777777777

хг

////////////

.З

/5