(54) СПЛАВ НА ОСНОВЕ РЕНИЯ
Состав сплава, вес. %
Темпера- ;
Стабильтурнын: коэффппость за
1000 ч, цпент сопроо/отивления .
0.5
ь 9 9 8 9 9 6 8 30 0.5 0.5 0.5 0,5 0.5 0,5 0,5 1.0
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Резистивный сплав | 1975 |
|
SU517653A1 |
| ВОДОРОДОПРОНИЦАЕМАЯ МЕМБРАНА, ФИЛЬТРУЮЩИЙ ЭЛЕМЕНТ И МЕМБРАННЫЙ АППАРАТ | 2005 |
|
RU2416460C2 |
| Керамический материал | 1980 |
|
SU881071A1 |
| Способ рентгенорадиометрической сортировки и устройство для его осуществления | 1990 |
|
SU1810107A1 |
| ДИСПЕРСИОННО-ТВЕРДЕЮЩИЙ МАГНИТОТВЕРДЫЙ СПЛАВ | 2005 |
|
RU2303644C1 |
| Материал для низкоомных тонкопленочных резисторов | 1981 |
|
SU1056281A1 |
| Аморфный термостабильный сплав с высоким коэффициентом тензочувствительности на основе циркония в виде ленты | 2023 |
|
RU2808479C1 |
| Жаропрочный никелевый сплав для литья деталей с монокристаллической структурой | 2021 |
|
RU2768947C1 |
| Протекторный сплав на основе магния | 1980 |
|
SU1770431A1 |
| Способ изготовления тонкопленочного резистора | 2018 |
|
RU2700592C1 |
Ка;к видно из таблицы, величина удельного электрического сапроти,вления 31начительно больше, а темиературиый 1коэффициент соироти1влеиия меньше на порядо,к величины, чем у тон коиленочных резисторов известного сплава.
Более высо,коо,миые и термостабильныс тонкопленочные резисторы на основе указанных в таблице сплавов И:о31воляют создавать прецизиоч ные микроминиатюрные элементы ;миКрОСбор01К.
Существенным достоинством нредлагаемы.х сплавов является их технолотическая совместимость с широко используемыми в микроэлектронике млтериала-ми и возможиость изготовления резистивных элементов высокопроизводительными С01времениы1ми методами.
Формула изобретен и я Сплав на основе -рения, содер каш,ий кремний, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона удельного электрического сопротивления в сторону увеличения и повышения термостабильности, он дололнительно содержит эле.меит, .выбраиный из группы, содержащей ванадий, ниобий, тантал, при следующем соотношении компонентов, вес. %:
Крем1иий Металл, выбранный
из указанной группы I -10 РенийОстальное
1-1:точиики информации, принятые во внимание ;при Э:Кспертизе:
20 2. Авт. св. Л 424504, кл. Н 01 С 7/00, 21.12.7,3 (прототип).
