Резистивный сплав Советский патент 1976 года по МПК C22C19/07 

(54) РЕЗИСТИВНЬШ СПЛАВ

1

Изобретение относится к области металлургии, в частности к изысканию сплавов для низкоомных тонкопленочных резисторов, применяюпдихся в микроэлектронике.

Известен резистивный сплав следуюн;его химического состава, вес. %:

Никель55-70

Кремний25-46

Кобальт1-5.

Известный

сплав имеет следующие своиства:

Удельное электросопротивление. Ом/квадрат10-500 Температурный коэффициент

сопротивления, град(2-4) 10Недостатком изделий, изготовленных из известного сплава, является высокое лдельное

сопротивление и большая величина температурного коэффициента сопротивления (ТКС).

С целью уменьшения удельного электросопротивления и повышения термостабильности резисторов предлагаемый сплав содержит кремний и кобальт в следующем соотношении, вес. %: ,

Кремний35-50

Кобальт50-65.

Резисторы, изготовленные из сплава этого состава, имеют более низкие значения удельного электросопротивления и температурного коэффициента сопротивления, что способствует дальнейшей микроминиатюризации прибо5ров и повышает термостабилыюсть резисторов, применяемых в них.

Характеристики резисторов из указанного сплава представлены в таблице. 3 Формула изобретения Резистивный сплав, содержащий кремний и кобальт, отличающийся тем, что, с целью уменьшения удельного электросопротивления ,4 и повышения термостабйльности резисторов, он содержит компоненты в следующем соотношении, вес. %: Кремний35-50 5Кобальт50-65.