Способ получения покрытий из тугоплавких металлов и их карбидов Советский патент 1976 года по МПК C23C11/02 C23C11/08 

незначительно влияет на производительность процесса, поскольку требуемые толщины покрытия невелики.

Пример 1. На внутреннюю поверхность труб 0 25 мм из сплава ВМ 1Д наносили молибденовое покрытие из смеси MoFe с водородом. Покрываемые изделия нагревали до 900°С. Исходную парогазовую смесь предварительно пропускали над поверхностью медной трубки, нагретой до 750°С, после чего ее направляли для нанесения покрытия на изделия.

Скорость потока парогазовой смеси выбиралась с таким расчетом, чтобы на медной трубке восстанавливалось 10-40% фторида молибдена от его количества, содержащегося в исходной газовой смеси.

Сравнительные данные по содержанию примесей в молибдене покрытия, полученном по известному и предлагаемому способам, показывают, что содержание N, О, С, Mg, W снижается при использовании предлагаемого способа в 3-6 раз.

Пример 2. Наносили покрытие из карбида циркония на трубчатые изделия, выполненные, например, из карбида циркония, пирографита, карбидографита и молибдена.

Процесс осуществляли па установке косвенного нагрева. Покрываемые изделия размещали на специальных подвесках, к нижней части которых крепились графитовые рещетки со смещенными отверстиями. Расположение изделии на подвеске и установка подвески в реактор производились таким образом, чтобы решетки находились в зоне, где температура равна 1400-1450°С, а сами изделия находились в зоне с температурой 1550°С.

В результате на графитовых рещетках осаждается покрытие, обогащенное примесями, а на поверхности деталей осаждается покрытие из карбида циркония почти свободное от включений посторонних элементов.

Формула изобретения

Способ получения покрытий из тугоплавких металлов и их карбидов путем восстановления газообразных галогенидов металлов на нагретой подложке, отличающийся тем, что, с целью уменьшения содержания примесей в покрытии, перед его осаждением проводят предварительное восстановление 10-40% галогенида металла на дополнительной подложке, имеющей температуру на 100-200°С ниже температуры осаждения покрытия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1.Авт. св. СССР № 311983, С 23С 11/00, 27.02.68.

2.«Осаждение из газовой фазы под ред. К. Пауэлла и др., «Атомиздат, М., 1970, с. 321, 453.