Паста для металлизации высокоглиноземистой керамики Советский патент 1976 года по МПК C04B41/14 

Изобретение относится к материалам, используемым при создании металлизационных покрытий и а алюмооксидной керамике, применяемой в различных областях микроэлектроники. Известно, что иа керамике с содержанием стеклофазы около 10%, металлизационные слои с достаточно высокой адгезионной прочностью, электропроводностью и плотностью могут быть -получены вжиганием смеси .порошков молибдена, марганца и титана. Однако при металлизации высокоглиноземистой керамики типа «Поликор, металлизационные покрытия, удовлетворяющие перечисленным требованиям, могут быть получены при вжитании составов, содержащих молибден, марганец, титан при температурах порядка 1600-1700°С. Наиболее близкой IK предлагаемой по технической сущности и достигаемому эффекту является паста для металлизации 1высокоглиноземистой керамики, содержащая следуюц;ие компоненты, вес. %: МолибденОснова Марганец3-20 Титан3-20 Металл группы платины0,01 - 1 спаев, свойства металлизационных слоев могут оказаться неудовлетворительными, так как конечная пористость их после спекания составляет 20-25%. Кроме того, металлизационные слои на высокоглиноземистой керамике имеют достаточно (Высокое электросопротивление (58,0- 62 мком-см), а адгезионная прочность не превыщает 45 кг/см. Наличие в составе для металлизации марганца и титана делает его чрезвычайно чувствительным к влажности газовой среды при вжигании, что приводит к снижению процента выхода годных изделий на конечных операциях. Цель изобретения - повышение плотности, электропрОводности н адгезии металлизационных слоев. Предлагаемая паста на основе моли|бдена в качестве добавок содержит MnTiOs и 1140 при следующем соотношении компонентов, вес. %: МолибденОснова Шпинель МпТЮз0,3-15,0 Ti4O70,02-1,0 Палладий0,01 -1,0

В Молибденовый аНгидрид 1В)зодят палладий в количестВе 0,01 еес. % о сиде раствора хлористого палладия. Полученную смесь тщательно перемешивают и сушат при 105- 110С. Высохшую Смесь растирают в фарфорозой ступ-ке и -просеивают через сито 016 ГОСТ 9584-53.

Перемешивают азотнокислый маргаиец и треххлористый титаи, используемые для .получения в конечном .продукте необходимых Соединений: (MnTiOa и TiiO) с порош ком 1иалладированиого молибденового аигидрида.

Компоненты смеси берут из расчета содержания S составе для металлизации 0,1 - 5 вес. % мартанца и титана соответственно в пересчете на чистый металл.

Полученную -смесь тш,ательио Иеремешнвают и сушат при 120-130°С, затем растирают в фарфоровой ступке, просеивают через сито 016 ГОСТ 9584-53 и рав-номерным слоем рассыпают по лодочке, изготовленной из молибденовой жести.

Смесь восстанавливают в печи водородом. К полученному оорошку добавляют лаиолин и вазелиновое масло для приготовления ласты. Металлизационную массу наносят способом трафаретной лечати на ва куумллотную шлифсхваиную высокоглиноземистую алюмоо«сид«ую керамику типа «Поликор.

Конкретные Составы пасты, вес. %:

И

I

MnTiOs

0,3

2,7 TiiOy

0,02

0,2 Pd

0,01

0,1 Mo

97,0

99,67

Ф и 3 И:Х о -мех ан и ч е ок и е

свойства

металлизаиОНных покрытий.

II

I

Удельное электросопротивлеиие,

МКом-ом

20-25 28,7-36,9 Адгезионная

прочность,

кг/см

60-65

70-75

ПорИСТОСТЬ, %

(не менее) 12 12

Формула изобретения

Паста для металлизации высокоглиноземистой керамики, включающая Мо и добавки Мп и Ti, о т л и ч а ю щ а я ,с я тем, что, с целью повышения плотности, электропроводности и адгезии, она содерлсит в качестве добавок соединения МпТЮз и и дополнительно Pd при следующем соотношении Компонентов внес. %:

МоОснова

МпТЮз0,3-15,0

ThOi0,02-1,0

Pd0,01 - 1,0