Способ изготовления влагочувствительного элемента для гигрометрических датчиков влажности Советский патент 1976 года по МПК G01N19/10 

солей палладия до металлического палладия толщиной 0,1 - 1 мкм.

Получение, влагочувствительного слоя путем окисления титанового электрода (позволяет обеспечить повышенную адгезию влагочувствительиоро слоя к основанию, Как согласно существующим представлениям окисные слои, образующи-еся на металлах, имеют тонкий внутренний сплощной слой, являющийся как бы кристаллографическим продолжением решетки металл.а.

Нанесение внешнего электрода в виде пористото металлического слоя, скрепляющего влагочувствительный слой из окиси титана, обеспечивает сохранение адгезии между частицами окиси тита.на в агрессивных условиях в течение длительного времени.

Анодирование основания и химическое восстановление палладия может быть осуществлено известными в прикладной электрохимии и технологически отр аботанными способами. На|при1мер для анодирования пригоден раствор состава (г/п): H2S04-350-400 и НС1 - 60-65.

В этом ipacTBOpe при температуре электролита 40-45° С и плотности тока 2-4 А/дм акисная пленка требуемой толщины 20- 40 мкм образуется за время мин.

Восстановление палладия может быть осуществлено из pacTiBopa следующего сплава, моль/л:

0,5-

PdCIa 0,11-

КагР2О7

ЫаНгРОг 0,3-

NH4F

NH4OH (25%-ный раствор)

при рН 9--10 и температуре 45-50° С.

В указанно)М электролите слои палладия требуемой толш,ины образуются в течение 1 - 2 мин.

Указанные особенности способа (позволяют из готовить чувствительный элемент, надежно работающий во влажной атмосфере при относительной влажности от 10% до 98% с возможностью конденсации влаги на его поверхности, допускающий многократную очистку его от случайных загрязнений в процессе эксплуатации.

Формула изобретения.

Способ изготовления влагочувствительного элемента для гигрометрических датчиков влажности, заключающийся в образовании на основании чувствительного элемента влагочувствительного слоя, содержащего окись титана, и соединении его с электродами из .коррозионностойких металлов, отличающийс я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления чувствительного элемента и обеспечения воз.можности его ра-боты в агрессивных средах, влагочувствительный слой образуют путвм окисления основания из сплава титана, служащего одним из элект|родов, анодированием в см-еси серной и соляной кислот

до толщины Окисного слоя 20-40 мкм, а затем наносят второй электрод химическим вос, становлением на о,кисном слое солей палладия до металлического лалладия толщиной 0,1-1 МКЛ1.

Источники инфор.мапии, принятые во внимание три экспертизе:

1.«Влажность, Гидрометеоиздат, 1967 г., том 1, стр. 283-287.

2.Патент США № 3671913 кл. 338-35. 1972 г. (прототип).