Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники Советский патент 1976 года по МПК H01L21/68 

1

Изобретение относится к области полупроводникового производства и, в частности, предназначено для хранения и транспортировки плоских изделий микроэлектроники, например интегральных схе.м в спутниках.

Известны различные конструкции коробчатой тары (I). Они представляют собой тару в виде коробок разнообразной конфигурации: с телескопической крышкой, с крышкой на шарнире, пеналы и т. д. В данные коробки могут вставляться различные прокладки в виде решеток. В собранном виде коробка с решеткой образует закрытые ячейки для изделий. При этом возможно выполнение коробчатой тары в виде четырехгранных ячеек с возможностью перегибов в стыках граней (II).

Одним из главных недостатков такой конструкции является невозможность автоматической групповой ориентированной загрузки и выгрузки изделий в технологические кассеты-пеналы. Это обстоятельство резко снижает эффективность использования данной тары в полупроводниковом производстве.

Целью изобретения - обеспечение групповой ориентированной загрузки и выгрузки изделий. Поставленная цель достигается тем, что торцы ячеек тары выполнены открытыми и снабжены стержневыми упорами, при этом комплект снабжен насадкой, содержащей выстуиы по числу ячеек, выполненные в соответствии с формой изделия.

На фиг. 1 показан предложенный комплект для хранения и транспортировки интегральных схем в спутниках, общий вид; на фиг. 2 а, б - тара в сложенном виде. Комплект включает в себя коробчатую тару 1, состоящую из четырехгранных гнезд-ячеек 2, открытых с торцевых сторон. Длина гнезда-ячейки кратна

длине типового пенала-магазина для спутников с интегральными схемами. На фиг. 1 показано размещение спутников 3 в гнездеячейке 2. На верхних гранях гнездячеек выполнены пазы 4 и нанесены риски 5

на расстоянии одна от другой, равном десяти спутникам.

Поскольку длина гнезд-ячеек выбирается кратной длине типового пенала-магазина, а количество спутников в пенале является известной постоянной величиной, то подсчет спутников в полностью заполненной таре легко осуществляется путем умножения количества спутников в ячейке на число ячеек в таре. Случаи неполного заполнения ячеек легко

контролируются визуально через пазы 4 на верхних гранях. При этом количество спутников определяется по рискам 5. В обоих концах боковых граней гнезд-ячеек 2 выполнены отверстия 6, куда вставляются стержневые упоры 7, предотвращающие выпадение спутников

из ячеек при транспортировке. При загрузке тара насаживается на специальное приспособление-насадку 8, содержащую выступы 9, выполненные по форме ячеек. Количество выступов равно числу ячеек. Назначение насадки 8 - придать ячейкам форму спутников в момент загрузки.

При перегрузке спутников из ячейки в пенал-магазин в паз вводят специальный захват-выталкиватель 10, который обеспечивает выгрузку всего пакета спутников. В процессе использования комплекта достаточно иметь лишь по одному экземпляру насадки и выталкивателя на всю партию комплектов.

Конструкция тары позволяет складывать ее в полосу или в плоскость. На фиг. 2 а, б стрелкой указано направление складывания тары. Складывание тары в плоскость обеспечивается взаимным смещением верхних и нижних граней, при этом все грани ячеек располагаются горизонтально. При складывании тары в полосу имеет место вертикальное расположение всех граней. В том или другом случае складывание возможно за счет поворота (перегиба) граней в местах их стыка.

Материалом для изготовления тары может служить бумага, пластмасса и другие материалы, допускающие многократную деформацию (или шарнирный поворот) граней при складывании тары и восстановлении ее формы.

Предложенный комплект используется на технологических операциях при массовом

4

производстве интегральных схем. Особенно эффективно его применение при магазинном питании оборудования, в чем заключается его основное преимущество перед известными в настоящее время средствами хранения и транспортировки, используемыми в полупроводниковом производстве.

10Формула изобретения

Комплект для хранения и транспортировки изделий микроэлектроники, например интегральных схем, в технологических спутниках,

15 содержащий коробчатую тару в виде четырехгранных ячеек с возможностью перегибов в стыках граней, отличающийся тем, что, с целью обеспечения групповой ориентированной загрузки и выгрузки изделий, торцы ячеек тары выполнены открытыми и снабжены стержневыми упорами, при этом комплект снабжен насадкой, содержащей выступы по числу ячеек, выполненные в соответствии с формой изделия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Упаковка для экспертных грузов. Единое техническое руководство, Калуга, 1974 с 13- 14.

2.Упаковка для экспортных грузов. Единое техническое руководство, Калуга, 1974, с. 82-83.

ffff/fpcfSaeftue сн/гсгдьгвани/1