Устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем Советский патент 1976 года по МПК H05K3/00 H01L21/77 

1

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к технологическому оборудованию для ориентации подложек (при изготовлении микросхем).

Известны устройства для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащие координатный стол, выполненный из верхней и нижней нлит, перемещающихся на пружин1;ых направляющих биморфными ньезокерамическими пластинами 1.

Однако известные устройства сложны, громоздки и не обеспечивают высокой точности Н надежности ориентации подложек.

Цель изобретения - повышепие точности и надежности ориентации подложек.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве для ориентации подложек нри изготовлении микросхем в плите координатного стола вынолнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размел ения подложки, внутреннюю и наружную рамки и унругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой.

На чертеже изображено предлагаемое устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем.

Устройство .содержит координатный стол, вынолненный в виде нлиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами 1-4, размещенными в .продольных и поперечных

пазах координатного стола и образующих рабочую плиту 5 для размещения подложки, внутреннюю 6 и наружную 7 рамки, упоров 8 и 9 и упругих элементов 10-21.

При подаче электрического напряжения на

пьезоэлектрический элел-гент 1 происходит его растяжение (сжатие), и так как он соединен с упором 8 и наружной рамкой 7, то последняя смещается но координате X за счет деформации упругих элементов 18-21, и одновременно смещается плита 5и:внут1ренняя рамка 6 в том же направлении. При подаче электрического напряжения на пьезоэлектрический элемент 2 нроисходит смещение рамки 6 по координате У за счет деформации упругих

элементов 10-13, и одновременно смещается нлита 5 в том же направлении, а рамка 7 вынолняет функции упора для рамки 6. При подаче электрического напряжения на пьезоэлектрические элементы 3 и 4 создается вращающийся момент, и плита 5 за счет деформации упругих элементов 14-17 совершает разворот, а внутренняя рамка 6 выполняет функции упора для плиты 5. При одновременной подаче электрического напряжения на

все пьезоэлектрические элементы нлита 5

смещается по двум координатам X н У }i развертывается лсд углом.

В качестве упругих элементов могут применяться пьезоэлектрическая керамика и магнитострикционные материалы.

Таким образом, предлагаемое устройство обеспечивает все виды перемещения, необходимые при ориентации подложек, а плита 5, рамки 6 и 7, упоры 8 и -9 и все направляющие легко образуются в единой металлической заготовке путем фрезерования сквозных щелей.

Формула изобретения

Устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности ориентации подложек, в ллите координатного стола выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размещения подлол ки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены .между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и .внутренней рамкой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авт. св. СССР № 379065, кл. Н 05К 3/00, 1970 (прототип).