Способ коррекции вибрационных колебаний движущейся каретки Советский патент 1977 года по МПК B23Q17/02 

(54) СПОСОБ КОРРЕКЦИИ ВИБРАЦИОННЫХ КОЛЕБАНИЙ ДВИЖУЩЕЙСЯ КАРЕТКИ

напряжения интерференционного сигнала при идентичных, колебательных смещениях каретки, соответственно, на переднем и заднем фронте полосы.

На фиг, 26 представлены отфильтрованные колебания напряжения, соответствующие переднему и заднему фронту полосы. Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Движение каретки 1 преобразуют в перемещение интерференционных полос в поле зрения датчика 2, С помощью преобразователя 3 преобразуют движение интерференционных полос в фотоэлектрический сигнал. Фильтром 4 выделяют вибрационную компоненту фотоэлектрического сигнала. Отфильтрованную вибрационную компоненту фотоэлектрического сигнала используют в качестве коррекционного сигнала, т.е. усиливают ее усилителем 6 и преобразуют в корректирующее воздействие на каретку устройством 7, Разность фаз между возмущающим и корректирующим воздействиями на каретку (при отключенном от каретки коррекционном устройстве), измеряют, например, фазометром и пьезоэлектрическими датчиками. Разность фаз d, регулируют фазовращателем 5 так, чтобы она была равна + 90 с точностью + агсэтя -:К каретке подключают коррекционное устройство. При изменении фазы коррекдионного сигнала на 180° (кривые 11, 12) разность фаз между возмущающими 8 и коррекционными 9 колебаниями остается по абсолютной величине равной 90 и, при поддержании этой величины с точностью

iarcsin-i- , коррекция колебаний является эффективной при прохождении как переднего, так и заднего фронтов фотоэлектрического сигнала.

Предлагаемый способ позволит повысить точность перемещения интерферометрически контролируемых органов станков и приборов за счет ограничения их вибрационных колебаний относительно оснований и ухфостить схемы интерференционного контроля в результате исключения вспомогательных каналов, необходимых для обеспечения надежности счета движущихся интерференционных колес.

Формула изобретения

Способ коррекции вибрационных колебаний движущейся каретки путем образования интерференционного фотоэлектрического сигнала, определяемого ее перемещениями, формирования коррекционного сигнала, усиления его и осуществления в соответствии с ним корректирующего воздействия на каретку, отличающийся тем, что, с целою повышения точности перемещений, выделяют вибрационную компоненту фотоэлектрического сигнала и, используя в качестве коррекционного сигнала, подают ее на усилитель, причем фазу колебаний изменяют так, чтобы разность фаз между вибрационными и корректирующими воздействиями на каретку составляла + 90 с точностью i аhcs-in 4 где k - коэффициент усиления системы коррекции.

Фс1г.1

a