Способ обнаружения микроотверстий в тонкостенных изделиях Советский патент 1977 года по МПК G01M3/04 

1

Изобретение относится к области контрольно-измерительной .техники и может быт использовано для обнаружения сквозных M IIроотверстий в пластинах, например из полупроводниковых материалов.

Известен способ обнаружения сквозных микроотверстий в корпусах малогабаритных приборов, заключающийся в том, что испытуемый корпус покрывают пенообразующим веществом, например мыльной пленкой, помещают на мембрану и покрывают дхрозрачгной накладкой в виде колпака, например чащкой Петри. Рычагом, расположённым внутри цилиндра, оттягивают гмембрану книзу, создавая под колпаком разрежение. В случае наличия в корпусе микроотверстий избыток воздуха, находящегося внутри KOJ пуса под атмосферным давлением, выходит в область -разрежения, образуя в месте вь хода пузыри 1.

Однако известный способ прадназначен для контроля изделий, имеющих замкнутые полости, и не может быть использован для контроля пласт}ш,

ИзвестенСпособ обнаружения сквозных микроотверстий в стенках резервуаров, заключающийся в том, что контролируемый участок обрызгивают водой, прикрывают накладкой - колпаком из органического стекла, откачивают воздух иэ-под колпака. В месте расположения микроотверстий образ)ются воздуишые пузырьки 2.

Известный способ сложен и требует для осуществления сложного оборудования.

Цель изобретения - упрощение обнаружения микроотверстий.

Это достигается тем что в качестве индилаторной Ж1щкости используют сублимащюнный клей, накладку подогревают и о местах расположения микроотверстий судят по пустотам, образова1шым в результагте испарения клея.

На чертеже предстазлена схема взаимного расположения нак юдки и контролируемого изделия, поясняющая осуществление способа.

На поверхность контролируек10го изделия .1 приклеивают субллмащюнным клеем 2 накладку 3 из прозрачлого материала, например из стекла. Способ осуществляют следуюищм образом. Накладку 3 нагревают до температуры плавления сублимационного клея, смачивают клеем, размещают контролируемое изделие на Смоченной клеем поверхности ( накладки и прижимают ее грузом. Остужаю соединение до комнатной тe fflepaтypы. При последующем нагреве накладки в случае на личия в контролируемом изделии микроотве стий 4 клей испаряется через них и в прос ранстве между изделием и накладкой обра зуются пустотЫ. 5, хорошо видимые со стороны накладки. Пустоты повторяют .форму отверстий. Формула изобретения Способ обнаружения микр о отверстий в тонкостенных изделиях, заключающийся в том, что на контролируемую поверх 1ость наносят индикаторную жид сость и устанавливают на нее накладку из прозрачного мат риала, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса обнаружения микроотверстий, в качестве индикаторной жидкости используют сублимационный клей, накладку подогревают и о местах--расположения мнкроотверстий судят по пустотам, образованным в результате испарения клея. Источники информации, прин5ггые во вш мание при экспертизе: 1. Патент США №3081620, кл. 7340, 1963. 2. Вакуумный контроль герметичности Letsch B.pichiheilskofrihoPBeH rtiHtePs VaKLiumpuf er aleM be Bi a«Hsiofflank3 MonatsbuP2. Skiveiz, Gas-und WesSer-foichmQiHrterii, 45, Mb 2, 47-50, 1965 (прототип).

«ееензя -авва

V / X

Ч-Z;

/ / /