Раствор для избирательного химического травления многослойных металлических структур Советский патент 1977 года по МПК C09K13/06 C23F1/02 

1

Изобретение относится к области химической обработки поверхности металлов, в частности к составам для травления на основе неорганических кислот.

Широко известны растворы для химического травления многослойных структур, содержащие смесь минеральных кислот и различные органические добавки l, 2.

Наиболее близким к предложенному изобретению является раствор для избирательно- го травления многослойных металлических структур, содержащий азотную и соляную кислоты, органические добавки (трилон Б, фенилмочевина, уксусная кислота) и воду.

Однако при вытравливании таким раствором элементов рисунка в металлической структуре ковар-медь-ковар фактор травления не превьилает 1,О, неровность края составляет 0,02-0,03 мм, что не обеспечивает получения годных изделий, например, необходимых размеров выводных рамок интегральных схем.

Целью изобретения является повышение рав номернсюти вытр авливания элементов рисунка при обработке триметалла коБар- 1едь-ковар.

Поставленная цель достигается тем, чтб в качестве органических добавок предлагаемый раствор содержит метафениленднамин солянокислый и динатриевую соль хромотро- повой кислоты при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Азотная кислота. 35--4S

Соляная кислота0,3-1,5

Метафенилендиамин солянокислый0,01-0,1 Динатриевая соль хро- мотроповой кислоты О,О1-0,1 Вода Остальное, Для приготовления раствора в расчетное количество воды добавляют необходимые количества азотной и соляной кислоты, после чего состав вводят при перемешивании органические добавки.

Пример. Выводные рамки интегральных схем со структурой ковар-медь-ковар размером 28x24x0,25 мм травят одновременно с двух сторон в растворах, состав которых и полученные результаты ; приведены ниже.

Компоненты

Соотношение компонентов, % вес.

Лвнатриевая соль хромотроповой киспсзты

Скорость травления, мкм/мин Фактор травпення

Неровность края траБпе1гия, мм Ширина контактных площадок, мкм:

внутренних выводов внешних вьюодов

Клин травления; мкм Предложенный раствор по сравнению с известными обеспечивает высокое качество травления изделий из многослойных металлических структур ковар медь ковар и. позч воляет практически исключить брак произ родства по геометряческим размерам вывод ных рамок интегральных схем. Кроме того, этот раствор обладает высокой полирующей «способностью (чистота обработки соответс гвует 9 классу),: исключает шламообразоваваняе. Изобретение может быть использовано при производстве деталей электронной техiraKK. 4 op мула изобретен и Раствор для избирательного химического травления многослойных металлических стру тур, содержащий азотную и соляную кислоты оргащпеские добавки и воду,.о т л и ч а ю

0,05

0,05

О, Об

Результаты:

15 4065

2,0-2,5 2,0-2,52,0-2,5

0,002-0,003 0,002-0,0030,002-0,003

400

400 400 4ОО

20-25

20-25 щ и и с я тем, что, с целью повышения равномерности вытравливания элементов рисунка при обработке триметалла ковар-медьковар, в качестве органических добавок он содержит метафенилендиамин солянокислый и динатриевую соль хромотроповой кислоты при следующем соотношении компонентов, вес.%: Азотная кислота35-45 Соляная кислота0,3-1,5 Метафенилендиамин солянокислый0,01-0,1 Динатриевая соль хромо- тродовой кислотыО,О1-ОД Вода Остальное. Источники информании, принятые во внимание при экспертизе: 1,Патент США,Я 37О2273, кл. 15618, 1972. 2.Коваленко B.C. Справочник Металлографические реактивы. М., Металлургия 1973, с. 59-60.