Устройство для подачи мелких деталей Советский патент 1977 года по МПК H01L21/68 

Изобретение относится к полупроводниковому про-изводству и может -применяться для подачи мелких деталей, например полупроВОДНИ1КОВЫХ кристаллов на операциях напайжи их на ножки приборов, разбраковки, перегрузки в кассеты. Известны устройства для подачи мелких деталей с использованием вакуумных присосок 1. Известно устройство для подачи мелких деталей, в частности полупроводниковых кристаллов с предварительно растянутой эластичной липкой плеНКИ, содержащее вакуумную присоску, выталки:ватель со сферической рабочей поверхностью и прижимной элемент, выполненный в виде неподвижного кольпевого вакуумного присоса, относительно которого перемещается подложка с кристаллами в горизонтальной плоскости. При этом поперечное сечение отверстия в вакуумном присосе представляет собой круг, на площади которого размещается несколько кристаллов 2. Недостатком известных устройств является нарущение ориентации кристалла в процессе подъема его выталкивателем, так как кристалл в процессе деформации эластичной лленки не поддерживается прижимным элементом. Цель изобретения - предотвращенке на;рущечия ориентации деталей. Поставленная цель достигается тем, что прижимной элемент выполнен в виде соединенной с приводом возвратно-поступательного движения рамки с отверстием по форме кристалла, снабженной фланцем, высота которого превыщает толщииу кристалла на 0-3- 0,5 мм. На чертеже схематически изображено предлагаемое зстройство, общий вид. Устройство для подачи мелких деталей содержит инструмент-присоску 7, выталкиватель 2, рамку 3 с отверстием 4 и фланцем 5, электромагнит 6, пружину 7 и кассету 8 с эластичной липкой пленкой 9, на которой уложены детали, например полупроводниковые кристаллы 10. На рабочей части инструмента-присоски / имеется гнездо //, соединенное с вакуумиой системой (на чертеже не показана) каналом 12. Устройство работает следующим образом. Рамка 3 под действием электромагнита 6 опускается в крайнее нижнее положение, при этом фланец 5 прижимает эластичную липкую пленку 9 к основанию кассеты 8, а полупроводниковый кристалл W оказывается в отверстии 4 рамки 3, выполненно-м по форме кристалла. Затем выталкиватель 2 поднимается вверх, прокалывает эластичнз-ю липкую пленку 9 и отделяет кристалл 10 от пленки. Подключенный к вакуумной сети инструмент-присоска опускается вниз, забирает кристалл 10 и переносит его «а позицию напайки. После этого электромагнит отключается, рамка 3 под действием пружины 7 поднимается вверх, кассета 8, перемещаясь, подает по-д рамку 5 очередной кристалл, и цикл работы повторяется.

Устройство исключает возможность- нарушения ориентации кристаллов в процессе их отделения от эластичной липкой пленки и позволяет забирать кристаллы горячим инструментом-присоской. При этом исключается загрязнение кристаллов и обеспечивается их надежное отделение от эластичной липкой пленки.

Формула изобретения Устройство для подачи мелких деталей, в

частности полупроводниковых кристаллов с эластичной- липкой , содержащее инструмент-присоаку, выталкиватель и прижимной элемент, отличающееся тем, что, с целью предотвращения нарущения ориентации деталей, прижимной элемент выполнен в виде соединенной с приводом возвратно-поступательного движения рамки с отверстием по форме кристалла, снабженной фланцем, высота которого превышает толщину кристалла на 0,,5 мм.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1.Патент Вели кобритании № 1309990, кл. В 3 R, 1969.

2.Авторское свидетельство СССР № 401270, ,кл. Н 01 L 7/68, 1970.