Предложенный механизм предназначен для использования в полупроводниковой промышленности, например, при групповой загрузке кассет кристаллами и прокладками для сплавления р - n-переходов.
В известных устройствах для загрузки кассет сплавления р - n-переходов групповым методом есть элементы ручного труда. Определенную дозу деталей вручную высыпают на виброшаблон, где происходит распределение их в нужном порядке.
Предлагаемый механизм обеспечивает полную автоматизацию загрузки кассет, включая дозировку деталей при загрузке виброшаблона, распределение деталей в заданном порядке на виброшаблоне, возврат излишка деталей в вибробункер, транспортировку деталей в дозатор и перегрузку их в кассеты.
На чертеже показано устройство предложенного механизма.
Управление механизмом групповой загрузки производится находящимися на валу 1 кулачками 2-7, которые управляют соленоидом 8, связанным с заслонкой дозатора 9; электромагнитными кранами 10, 11, 12; механической рукой 13 с групповой вакуумной присоской 14; виброшаблоном 15 со склизом 16 и механизмом 17 подачи кассет на загрузку. В вибробункере 18 находятся детали 19, которые загружаются в кассету 20.
Вибробункер постоянно подает детали в дозатор. От кулачка 2 включается соленоид, открывающий заслонку дозатора, и детали в количестве 5-8 раз большем, чем количество, необходимое для загрузки кассеты 20, высыпаются на виброшаблон 15. Кулачок 3 включает виброшаблон и электромагнитный кран 12. Детали передвигаются по виброшаблону в указанном стрелкой направлении, западают по одной в углубления шаблона и удерживаются там вакуумом через отверстия в донышке углублений. Углубления на виброшаблоне выполняются глубиной, равной толщине детали, а по диаметру на 0,1-0,2 мм больше, чем диаметр или диагональ детали. После заполнения виброшаблона деталями кулачок 3 отключает вибрацию и подачу вакуума к виброшаблону 15. Кулачок 7 с помощью механической руки 13 подает групповую присоску 14 к виброшаблону 15 так, что каждый элемент присоски располагается над деталью 19 с зазором 0,2-0,4 мм. Кулачок 4 включает кран 11, и групповая вакуумная присоска 14 забирает из виброшаблона 15 детали. Кулачок 6 механизмом 17 подает кассету 20 на позицию загрузки. Кулачок 7 перемещает групповую присоску 14 и выставляет ее над кассетой 20. Кулачок 4 выключает электромагнитный кран 11. Кулачок 5 включает кратковременную подачу воздуха с помощью электромагнитного крана 10. Детали 19 противодавлением отбрасываются от групповой присоски 14 и попадают в ячейки кассеты 20. После этого кассета, загруженная деталями, выходит на стол.
Механизм групповой загрузки плоских деталей в кассеты, состоящий из устройства подачи деталей, узла загрузки деталей в кассеты и кулачкового вала, отличающийся тем, что, с целью увеличения производительности загрузки, устройство подачи деталей содержит стационарный виброшаблон, имеющий на поверхности углубления для западания деталей, а узел загрузки деталей в кассеты выполнен в виде групповой вакуумной присоски, имеющей возможность перемещаться в горизонтальной и вертикальной плоскостях.
