Устройство для мойки микроминиатюрных деталей Советский патент 1977 года по МПК H01L21/00 

1

Изобретение относитея к области микроэлектроники. Устройство, в частности, может быть использоваио для отмывки микроминиатюрных деталей микроэлектрониых приборов.

Известны устройства для мойки мелких деталей, содержащие ванну с моющим раствором, погруженный в ванну сосуд для деталей и вибратор, сообщающий виброперемещения либо ванне, либо сосуду 1.

К недостаткам известного устройства следует отнести недостаточное качество, малую эффективность и производительность отмывки микроминиатюрных деталей.

Цель изобретения - повышение качества, эффективности и производительности мойки - достигается тем, что в устройстве для мойки микроминиатюрных деталей преимущественно полупроводниковых приборов, содержащем ванну для моющего раствора, в котором размещен сосуд для отмываемых деталей с отверстиями в его стенках, и вибратор, отверстия выполнены капиллярными, а одна из стенок сосуда с отверстиями примыкает к плоскости одной из стенок ванны, перпендикулярной направлению действия вибрации, и выполнена из материала, не смачиваемого моющим раствором.

На чертеже изображено описываемое устройство.

К вибратору 1 подсоединен сосуд 2, погруженный в ванну 3 с моющн.м раствором 4. В стенках сосуда, в котором размещены отмываемые детали 5, выполнены капиллярные отверстия 6. Размеры отверстий недостаточны для свободного прохождения через них моющего раствора. Стенка 7 сосуда примыкает к плоскости стенки 8 ваннь; 3, перпендикулярной направлению действия вибрации. До включения вибратора моющий раствор не натекает через стенку 7, поскольку отверстия в ней малы и она выполнена из материала, не смачиваемого моющим раствором, например фторопласта.

При включении вибратора стенка 7 сосуда 2 и стенка 8 ванны 3, расположенные в исходном состоянии в непосредственной близости друг от друга, расходятся, образуя зазор д, и затем сходятся, как бы захлопывая этот зазор. При этом моющий раствор в зазоре оказывается под большим давлением и подается в сосуд с деталями через капиллярные отверстия. За каждый период колебаний сосуд с деталями пополняется новой порцией моющего раствора. Каждая новая норция раствора вытесняет из сосуда такую же порцию израсходованного paiCTBopa, что существенно Повышает качество и эффективность мойки. При этом не требуется высокий уровень ускорения вибрации, что очеиь важио при отмывке элементов микроэлектроники, обладающих повышенной чувствительностью к механическим воздействиям.

Формула изобретения

Устройство для мойки микроминиатюрных деталей нреимущественно полупроводниковых приборов, содержащее ванну для моющего раствора, в которой размещен сосуд для отмываемых деталей с отверстиями в его стенках, и вибратор, отличающееся тем, что, с целью повышения качества, эффективности

и производительности моикь, отверстия выполнены капиллярными, а одна из стенок сосуда с отверстиями примыкает к плоскости одной из стенок ванны, перпендикулярной направлению действия вибраций, и выполнена из материала, не смачиваемого моющим раствором.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Парнес М. Г. Механизация и автоматизация изготовления элементов радиоаппаратуры, Госэнергоиздат, 1968, с. 206, рис. 4-6а.