Способ изготовления выпрямительного элемента симистора Советский патент 1980 года по МПК H01L21/02 

Изобретение отнссится к полупрсводыикОЕОму приборостроению :-1 мо;кет быть использовано при из готоз.гепяи сплавного омичеокого контакте ;.,:/ термокомленсатором, например.из зольтора, на контактной поверхности которой имеются области как . так и р -типа проводимости.

Известно, что для создания ONur-iec.кого контактного соединения термокомпенсатора с кремниевым диском.. .щим поверхность р-типа проводимости, применяют метод сплавле.чия с i:oMO j;.o:-o алюминия лг.к оилу:-шна г.-ри тег..перат уpax, значительно превышающих температуру эвтектики систе я-л апюминиикремний l .

Однако этот метод при соединении термоко№1енсатора с кремни.;Т;ок структурой окмистора, на контактной поверхности которой имеются облает;. как п-. так и р-типа проводимости, не пригоден. Это объесняетс.ч тем, что при сплавлении растворяется кремний э ал1 ми11ии до HacbimeHVH, а vj время охлаждения избыточный кре;мний выкристаллизовывается из раствора на коходной кремниевой структуре, формируя рекристаллизовапныЯ слой лизовакный слой кремния на контактно поверхности структуры, и контакт полгучается омическим как к , так м п -области . Однако при этом способе иэготовле HJiK выпрямительного элемента с ими сторг су цественно повышаются ток и напряжемие управления. Цель изобретения - снижение тока и напряжения управления симистора. Это достигается тем, что под областью управляю1уего электрода помещают материал, не растворяющий кремний . Способ изготовления выпрямительно го элемента симистора состоит в сле.:,;ующем. На дно кассеты для сплавления помещают термокомпенсирующий диск, а затем и алюминиевую шайбу, толщиной примерке 15 мкм, о круглым отверстие диаметр которого равен диаметру об;;асти управления. Далее в отверстие гитюмккиеэой шайбы помещают диск из .-атери.алл, не растворяющего кремний налрлмер заэвтектического силумина, TOjfl-atfHa которого равна толщине шайбы На ;аайбу к диск помещают кремниевую cTpypvTypy симистора. Все это прижигругом или спрессовывают, напр торошком и помещают сплавления, jcoTopoe проJM ::T при 577 600°С. Зо ;. сплавления алюминиевая .;-;;оа смачивает эмиттерные области ремниевой структуры и контактную оьерхность термокомпенсатора, формируя контактное соединение. Заэвтектический силуминовый диск при сплавлении находится в жидко-твердом состоянии и заполняет пространство между областью кремниевой структуры под управляющим электродом и термокомпенсатором, создавая механическую прочность элементу симистора. Использование предлагаемого способа изготовления выпрямительного элемента позволяет уменьшить ток и напряжение управления обратной ветвью в.а.х. симистора соответственно в 10 и 5 раз по сравнению с выпрямительными элементами, из гот озлен известным способом. Формула изобретения Способ изготовления выпрямительного элемента симистора, вк;1ючающий операции помещения прокладки сплава между термокомпенсатором и кремниевой структурой и последующего сплавления, отличающийся тем, что, с целью снижения тока и напряжения управления симистора, под областью управляющего электрода по-мещают материал, не растворяющий кремний . Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент США № 3445301,кл. 148-1, опублик. 1969. 2.Патент Англии . 1225038, кл. Н 01 К, опублик. 1971.