Катодный узел Советский патент 1978 года по МПК C23C15/00 

(54) КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может найти применение при изготовлении тонкопленочных покрытий сложного состава.

Известна конструкция катоднот узла, Где катод вьтолнен из сплава соответствующих материалов flj .

Недостатком такого устройства является то, что не всегда можно приготовит сплав из необходимых исходных материалов.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущно,сти является катодный узел преимущественно для нанесения многокомпонентных покрытий катодньм распылением, содержащий водоохлаждаемое основание с размещенньми на нем мишенями из основного и легирующих MQTepitaлов.

Цель изобретения - обеснечеине ЕЮЗможиости регутиронания состава покрытия

Это достигается тем, что в катояном узле преимущественно дчя нанесе1Н1я многокомпонентных покрытий катодным

распылением, содержащего вопоохлаждаемое основание с размещенными на нем ми шенями из основного и легирующих материалов, мишень из основного материала выполнена в г.иде двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещения относительно друг друга над мишенью из ле1-ирующего материала.

На чертеже представлена конструкция

катодного узла.

Мишень 1 из легирующего материала, например хрома, размещена на охлажденном основании 2, мишени 3 и 4 вьтолнены из основного материала. В них сделаны расположенные в шахматном порядке отверстия, мишени 1 и 3 неподвижны, а MHUJfeHb 4 может перемещаться за счет

жесткого прикрепленного к ней стержня 5. Для устранения влияния границ мииени 4 на состав покрьтия используется кв-арцевый экран 6 с отве х:тием. Стержень 5 защищен от распыления м таллическим экраном 7. Устройство работает следующим образом. Когда отверстия в мишенях 3 и 4 полностью совпадают, идет совместное растыление основного и легируюшего материалов. При этом содержание легиру ршего материала в покрытии является наибольшим. По мере движения мишени 4 отверстия в мишени 3 закрываютс Площадь распыления мишени 1 из легирую щего материала уменьшается, соответств но уменьшает ся содержание легирующего материала в локрытии. Когда мишень 4 сместится, все отверстия в мишени 3 будут полностью закрыты и будет распыляться только мишень из основного материала. Предлагаемый катодный узел может найти применение при изготовлении различных тонкопленочных приборов,например в микроэлектронике при создании полупроводниковых приборов, когда необходимо иметь покрытия сложного состава с изменением процентного содержания легирующей примеси по толщине покрьцтия. Формула изобретения Катодный узел, преимущественно для нанесения многокомпонентных покрытий катодным распылением, содержащий водоохлаждаемое основание с размещенными на нем мишенями из основного и легирующих материалов, о т л и ч а ю u и и с я тем, что, с целью обеспечения возможности регулирования состава покрытия, мишень из основного материала выполнена в виде двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещения относительно друг друга над мишенью из легирующего материала. Источники информации, принятые во вниманиеПри экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 491734, С 23 С 15/00, 1975. 2.Патент ФРГ Nt 1515314, кл. С 23 С 15/ОО, 1973.

/ // / // II II If II

II /Л о II и М

рт