Способ нанесения металлических покрытий Советский патент 1978 года по МПК C23C11/02 

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий, в частности медных к никелевых,, термическим расположением металлоорганнческих соединений и может быть использовано в металлургии и электронике при изготовлении изделий с защитными, электропрГУВОДНЫМИ, паяными и другими покрытиями. Известен способ получения металлических покрытий, в частности медных, путем пиролиза формиатных соединений меди в вакууме при 35О-450 С ij. Однако испарение формиатов большинства металлов требует нагрева до тем ператур близких или более высоких по сравнению с температурой их разложения, что сопровождается малой эффективностью использования металлсодержащего сырья. Наиболее близким к предложенному по технической сущности и достигаемому эффекту является способ нанесения металлических покрытий путем термического разл жения паров металлоорганических соединений относительно термост ильных при температуре испарения, в частности ад тШ1ацето атвых и дпеннльных производшх, в восстайоеятельнсхЗ атмосфере (водород на нагретой до 25O-SOO С поверхности изделий Га. Недостатками такга о способа являются: низкая чистота получаемых но1фытий (загрязнение метаяла покрытия попимерными продуктами пиролиза, окисными соединениями и углеродом достнгает 6О%), взры воопасность процесса, обусловленная использованием . для создания воостановительн{ атмосферы. Цель изобретения - повышение чистоты покрытия и снижение варываемости процео са. Достигается это тем, что восстановительную атмосферу создают при помощи паров муравьиной кислоты, которые подают непосредственно к покрываемсй поверлности при мольном соотношении к парам металлоорганическэго соединения (h-3tt): ;1, где h - валентность металла. Процесс осуществляют при пониженном давлении в системе. В качестве металлоорганических соединений используют. например, ацетилацетонаты ; и циклопентадиенилы металлов. Получают покрытия толщиной ОД-Юмк со скоростью осаждения до 2,5 мкм/ч. Неравномерность покрытий на полированной феррнтовой пластинке площадью 4 см не превышает 5-7%, адгезия к основе составляет 15О-200 кг/см . Пример, Стеклянные подложки помещают в кварцевый сосуд, имеющий отвод -ДЛЯ вакуумной откачки, нагреватель ные печи и систему подачи паров исходных соединений. Нагревают подложки до 35№iO С, вводят в сосуд адетилацетонат меди, испаряемый при asoiiot, и непосредственно к поверхности покрываемых подложек подводят пары муравьиной -дкислоты в мольном отношении к парам ацетилацетоната меди 2:1., Процесс ведут при давлении в системе рт. ст. содержание меди в полученном покрытии составляет 06%, остальное - углерод. П р и м е р 2. Процесс осуществляют по примеру 1, но в : качества металлсодержащего соединений берут бис-{циклопентадиенил) никеля, испаряемый при 120 i 10 С. Содержание никеля в покры тии составляет 58%, остальное - углерод Предложенный способ нанесения металлических покрытий из паровой фазы по сравнению с существующим обеспечивает снижение содержания примесей в покрытиях, что позволяет повысить их паяемость электропроводность и травимость, т. е. расширяет область применения в электронике. Формула изобретения Способ нанесения металлических покрытий путем термического разложения паров металлоорганических соединений в восстановительной атмосфере на нагретой поверхности изделий, отличающийс я тем, что, с целью повыщения чистоты покрытия и снижения взрывоопасности процесса, восстановительную атмосферу создают при помощи паров муравьиной кислоты, которые подают непосредственно к покрываемой поверхности при мольном отношении к парам металлоорганического соединения ( h - 3 tt ): 1, где П - валентность металла. Источники информации, принятые во внимание при . экспертизе: 1.Патент США № 2430520, кл. 117-35 , 1947. 2.Патент США N 3356527, кл. 117-102, 2 , 1967.